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半导体制造中嵌套性工艺参数的统计过程控制研究-西安电子科技大学
半导体制造中嵌套性工艺参数的 统计过程控制研究 作者姓名 田文星 学校导师姓名、职称 游海龙 副教授 企业导师姓名、职称 顾 高工 申请学位类别 工程硕士 学校代码 10701 学 号 1311122839 分 类 号 TN40 密 级 公开 西安电子科技大学 硕士学位论文 半导体制造中嵌套性工艺参数的 统计过程控制研究 作者姓名：田文星 领 域：集成电路工程 学位类别：工程硕士 学校导师姓名、职称：游海龙副教授 企业导师姓名、职称：顾 高工 学 院：微电子学院 提交日期：2015 年 11 月 Research on SPC for Nested Process Parameters in the Semiconductor Manufacturing A thesis submitted to XIDIAN UNIVERSITY in partial fulfi ment of the requirements for the degree of Master in Integrated Circuit Engineering By Tian wenxing Supervisor:
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