Mg+注入对GaN晶体辐射损伤的研究-物理学报.PDF

下载文档

0
0
约 6页
2017-08-05 发布于天津
举报
版权申诉
保障服务

Mg+注入对GaN晶体辐射损伤的研究-物理学报.PDF

1、有哪些信誉好的足球投注网站（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。

Mg注入对GaN晶体辐射损伤的研究-物理学报

第卷第期年月物理学报 ’’ ’ ##R ’ ，，， 0. D’’ A0 D’ ;-N ##R （） ###/U(#E##RE’’ #’ E)%R/#R ^=W^ \O_L‘=^ L‘A‘=^ !##R =643 D \6N: D L05 D ! # 注入对$% 晶体辐射损伤的研究! 蒙康姜森林侯利娜李蝉王坤丁志博姚淑德! （北京大学物理学院，北京 ##$%）（年月日收到；年月日收到修改稿） ##’ ( ’ ##’ ) 在蓝宝石衬底上通过金属有机物化学气相沉积（，）方法外延生长的 *+,-./012-345 56+*45-. 7-801 9+80:4,403 ;=? 薄膜具有良好的结晶品质，达到结合卢瑟福背散射沟道（， @-A *43 B## C D E FG,6+1H019 I-5J:5-,,+1432E 56-33+.432 FKLE ! =）和高分辨射线衍射（，）的实验测量，研究了不同剂量和不同角度 P 注入 M 6426/1+:0.G,403 M/1-N 94HH1-5,403 OMF? ;2 @-A 所造成的辐射损伤D 实验结果表明，随注入剂量的增大，晶体的辐射损伤也增大，注入剂量在 ’ 以下，小于 Q # -,0*E 5* *43 ! ， R 是 P 注入的剂量阈值，超过这个阈值，结晶品质急剧变差，达到；随机注 ) B%$C Q # -,0*E 5* ;2 @-A *43 ( B’ C ! 入比沟道注入的辐射损伤大，且在一定范围内随注入角度的增大，损伤也增大，在 ’ 剂量下偏离 ) Q # -,0*E 5* 〈〉沟道，，，时的（）分别为，，，；经过两步退火和 ### #S )S RS (S