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硕士论文 轴向磁悬浮轴承位移检测技术研究 摘 要 拥有无摩擦、无磨损、无需润滑、低功耗，无噪声等优点的磁悬浮轴承在如今飞速 发展的今天，其应用与需求是越来越广。磁悬浮轴承必须根据轴的悬浮状态不断地调节 磁场力的大小才能使轴实现稳定地悬浮，其关键技术之一就是对转子位移的实时检测。 本文研究用以轴向磁悬浮轴承控制系统系统的位移检测技术，根据系统的研制要求，主 要对电涡流，电感，电容三种常用的位移检测方法进行了比较研究。 在分析比较了各种电涡流检测电路原理的基础上，设计了调幅式的位移检测电路， 对激励信号的频率、波形进行了实验分析研究，从提高位移检测灵敏度的角度考虑，确 定了激励信号的频率和波形。 设计了差动电容式位移检测系统。采取印制板技术制作电容极板，并将检测电路与 电极做成一体，直接将位移变化导致的电容变化转变为电信号输出，大大减少了分布电 容的干扰，并在结构上采取了屏蔽措施，克服了外界电磁干扰的影响，使系统检测的可 靠性大大提高，并具有比较高的位移检测灵敏度。 将电涡流和差动电容位移传感器应用于轴向磁悬浮轴承，进行实际的使用对比实 验。根据实际效果，从安装的方便性考虑，电涡流传感器体积小，易于安装，而电容传 感器体积偏大；从灵敏度考虑，差动电容传感器灵敏度高于电涡流传感器；从经济性考 虑，电容位移检测系统较电涡流位移检测系统的成本低。就轴向磁悬浮轴承的位移检测 的运用，差动电容较电涡流位移检测技术更为合适。 关键词：磁悬浮轴承，电涡流，电感，差动电容，位移检测技术 硕士论文 Abstract Atthe no boomingdevelopmental presenttime，Magneticlevitatingbearing，with friction,nowear,nolubrication,lowpower consumption,lownoise，is extensively being demandedfor to application．Magneticlevitatingbearing state rotatings11a血must,according of forcetomakeaxis one adjustmagnetic suspension，constantly suspension．Thekey the is rotor detectionin tothe of technique displacementsreal-time．According developing the maintaskistomake ofthree requirements，the system comparativestudy displacement detection