电子能量损失谱元素定量分析的条件优化 - 天津大学期刊中心.PDFVIP

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电子能量损失谱元素定量分析的条件优化 - 天津大学期刊中心

第 49 卷 第 10 期 天津大学学报 (自然科学与工程技术版) Vol.49 No.10 2016 年 10 月 Journal of Tianjin University (Science and Technology) Oct. 2016 DOI:10.11784/tdxbz201507059 电子能量损失谱元素定量分析的条件优化 1 2 1 1 1 1 崔 兰 ,赵鲁宁 ,陈小平 ,林 奎 ,郭前进 ,马 天 (1. 天津大学分析中心 天津 300072 ;2. 美国加州大学伯克利分校化学系,伯克 94720) 摘 要 :研究了电子能量损失谱元素定量分析的影响因素,测定了能量损失谱仪的重要实验参数:接收角和汇聚 角.在不同的实验条件下收集了一系列标准样品,如氮化硼、氧化铁、氧化铝、氧化锌、硫化锌、氧化钛、氧化硅 和氧化锆的电子能量损失谱,对其元素定量分析的影响因素, 包括入口光栏直径、非弹性散射截面计算模型、积分 区间宽度和背底拟合函数等进行了探讨,深入分析每个因素对电子能量损失谱的定量结果影响,得到了电子能量损 失谱元素定量分析的优化条件. 关键词 :电子能量损失谱;实验参数;定量分析;非弹性散射截面 中图分类号:TK448.21 文献标志码 :A 文章编号 :0493-2137 (2016)10-1101-05 Condition Optimization for Quantitative EELS Element Analysis 1 2 1 1 1 1 Cui Lan ,Zhao Luning ,Chen Xiaoping ,Lin Kui ,Guo Qianjin ,Ma Tian (1.Analysis Center of Tianjin University ,Tianjin 300072 ,China ; 2.Department of Chemistry ,University of California ,Berkeley ,Berkeley CA 94720 ,USA) The influencing factors of quantitative electron energy loss spectroscopy (EELS) element analysis were Abstract : studied. Two important experimental parameters, collection and convergence angles were first determined, and EELS spectra from a series of standard samples, such as BN, Fe O , Al O , ZnO, ZnS ,TiO , SiO and ZrO were then ob- 2 3 2 3 2 2 tained. The quantitative analysis was made considering different factors such as d

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