光滑表面粗糙度Rz 参数的一种干涉测量法 - 物理通报.PDFVIP

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2017-07-03 发布于天津
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光滑表面粗糙度Rz 参数的一种干涉测量法 - 物理通报

年第期物理通报物理实验教学 2016 1 光滑表面粗糙度参数的一种干涉测量法 Rz 褚长亮屈光辉 ( ) 西安理工大学理学院陕西西安 710054 王武孝 ( ) 西安理工大学材料科学与工程学院陕西西安 710054 刘满仓刘如军张琴 ( ) 西安理工大学理学院陕西西安 710054 ( : ) 收稿日期 2015 10 14 : 摘要介绍了一种光滑表面粗糙度参数的干涉测量法该方法用空气膜层上表面与样本表面的基准面平 Rz . , , 行的方式来观察等厚干涉条纹用干涉条纹间的相对运动来判断样本表面的峰谷同时也给出了新的计算公 R z 、式该方法测量过程较简单对仪器要求较低且有助于样本的表面微观形貌分析 . . : 关键词表面粗糙度干涉测量法表面微观形貌分析 , 气膜层上时在其上下表面反射的光将会发生干涉. 1 引言 , 若样本表面有微小的起伏将会在显微镜中观察到 , 表面粗糙度是机械加工领域经常用到的一个参如图所示的弯曲等厚干涉条纹它们是样本表面 2 ,