有哪些信誉好的足球投注网站- 1、本文档共7页，可阅读全部内容。
- 2、有哪些信誉好的足球投注网站（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
光纤阵列的超声椭圆振动辅助化学机械抛光 - 中国表面工程
第 29 卷 第 3 期 中 国 表 面 工 程 Vol. 29 No. 3
2016 年 6 月 CHINA SURFACE ENGINEERING June 2016
doi: 10.11933/j.issn.1007–9289.2016.03.018
光纤阵列的超声椭圆振动辅助化学机械抛光*
a,b a,b a a
陈 涛 ，刘德福 ，佘亦曦，严日明
(中南大学 a. 机电工程学院, b. 高性能复杂制造国家重点实验室，长沙 410083)
摘 要: 为了获得平整的光纤阵列端面，设计了一套超声椭圆振动辅助化学抛光系统，并进行常规化学机械抛光和超声椭
圆振动辅助化学机械抛光的对照试验。结果表明，应用超声椭圆振动辅助化学机械抛光技术加工光纤阵列，选择合理的抛
光工艺参数，可获得质量较好的光纤阵列端面，相比于常规化学机械抛光技术，光纤的表面粗糙度降低了25% 。采用单因素
试验法，分别研究了抛光粒子材料及抛光液酸碱性对于超声椭圆振动辅助化学机械抛光的作用效果，并利用Vecco表面轮廓
仪对抛光后光纤阵列端面进行观察和分析。采用正交试验法获得了一组超声椭圆振动辅助化学机械抛光光纤阵列的优化工
艺参数，最佳工艺参数组为：超声振动频率25 kHz ，抛光液流量35 mL/min ，抛光压力50 kPa ，抛光盘转速20 r/min ，抛光粒
子质量分数0.5%。
关键词: 光纤阵列；超声椭圆振动；化学机械抛光；表面粗糙度
中图分类号: TG175 文献标识码: A 文章编号: 1007–9289(2016)03–0132–07
Ultrasonic Elliptical Vibration Assisted Chemical Mechanical Polishing for Fiber Array
a,b a,b a a
CHEN Tao , LIU De-fu , SHE Yi-xi , YAN Ri-ming
(a. College of Mechanical and Electrical Engineering, b. State Key Laboratory of high performance complex manufacturing,
Central South University, Changsha 410083)
Abstract: In order to obtain a flat end face of fiber array, an ultrasonic elliptic vibration assisted chemical polishing system is
designed, which is used for conducting a controlled trial between routine chemically mechanical polishing and the ultrasonic
elliptic vibration assisted chemical mechanical polishing
文档评论（0）