中间尺度零件微细铣削加工工艺 - 东南大学学报.pdfVIP

第３８卷第４期 东南大学学报（自然科 学版 ） Ｖｏｌ３８Ｎｏ４ 　 ２００８年７月 ＪＯＵＲＮＡＬＯＦＳＯＵＴＨＥＡＳＴＵＮＩＶＥＲＳＩＴＹ（ＮａｔｕｒａｌＳｃｉｅｎｃｅＥｄｉｔｉｏｎ） 　 Ｊｕｌｙ２００８ 　　　　　　 中间尺度零件微细铣削加工工艺 １ １ ２ ２ 张　霖　 赵东标 　 张建明　杨志甫 １ （南京航空航天大学机电学院，南京２１００１６） ２ （北京航空精密机械研究所，北京 １０００７６） 摘要：论述了中间尺度零件微细铣削加工关键使能技术，然后介绍了自行研制的小型精密数控 微细铣削系统，其定位精度可达１５３ ｍ．最后开展机床加工工艺实验研究，采用直径０２ ｍ的 μ μ 端铣刀进行平面微细铣削加工，获得表面粗糙度值为２１５ｎｍ；采用直径０２ ｍ的球头铣刀进行 μ 微直槽加工，尺寸误差在１～２ ｍ以内；并进行了微螺旋槽、微齿轮及微半球典型结构件的微细 μ 铣削加工实验．分析结果表明系统已经具备了对中间尺度三维微小零件的微细铣削加工能力． 关键词：微细加工；微细铣削；中间尺度零件；小型化数控机床 中图分类号：ＴＨ１２２；ＴＨ１６１　　文献标识码：Ａ　　文章编号：１００１－０５０５（２００８）０４０６７４０４ Ｍｉｃｒｏｍｉｌｌｉｎｇｍａｃｈｉｎｉｎｇｏｆｍｅｓｏｓｃａｌｅｃｏｍｐｏｎｅｎｔｓ １ １ ２ ２ ＺｈａｎｇＬｉｎ　 ＺｈａｏＤｏｎｇｂｉａｏ　 ＺｈａｎｇＪｉａｎｍｉｎｇ　 ＹａｎｇＺｈｉｆｕ １ （ＣｏｌｌｅｇｅｏｆＭｅｃｈａｎｉｃａｌａｎｄＥｌｅｃｔｒｉｃａｌＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，ＮａｎｊｉｎｇＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｏｆＡｅｒｏｎａｕｔｉｃｓａｎｄＡｓｔｒｏｎａｕｔｉｃｓ，Ｎａｎｊｉｎｇ２１００１６，Ｃｈｉｎａ） ２ （ＣｈｉｎａＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇＩｎｓｔｉｔｕｔｅｆｏｒＡｉｒｃｒａｆｔＩｎｄｕｓｔｒｙ，Ｂｅｉｊｉｎｇ１０００７６，Ｃｈｉｎａ） Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｔｈｅｒｅｌａｔｅｄｋｅｙｅｎａｂｌｉｎｇｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙｆｏｒｔｈｅｐｒｏｃｅｓｓｏｆｍｉｃｒｏｍｉｌｌｉｎｇｉｓｐｒｅｓｅｎｔｅｄｂａｓｅｄｏｎ ｔｈｅｏｒｅｔｉｃａｌａｎａｌｙｓｅｓ．Ａｄｅｖｅｌｏｐｅｄｍｉｌｌｉｎｇｍａｃｈｉｎｉｎｇｓｙｓｔｅｍｗｈｉｃｈｈａｓａｐｏｓｉｔｉｏｎｉｎｇａｃｃｕｒａｃｙｏｆ １５３ ｍｉｓｉｎｔｒｏｄｕｃｅｄ．Ｓｏｍｅｔｅｓｔｓｗｅｒｅｃａｒｒｉｅｄｏｕｔｔｏｅｖａｌｕａｔｅｔｈｅｓｙｓｔｅｍｐｒｅｃｉｓｉｏｎａｎｄｐｅｒｆｏｒｍ μ ａｎｃｅ．Ｔｈｅｍａｃｈｉｎｉｎｇｔｅｓｔｓｉｎｃｌｕｄｅｄａｐｌａｎｅｗｉｔｈａｓｕｒｆａｃｅｒｏｕｇｈｎｅｓｓｏｆ２１５ｎｍ，ｍｉｃｒｏｓｔｒａｉｇｈｔｓｌｏｔｓ ｗｉｔｈａｄｉｍｅｎｓｉｏｎｅｒｒｏｒｒａｎｇｅｏｆ１ｔｏ２ ｍ，ａｓｗｅｌｌａｓｓｏｍｅｔｙｐｉｃａｌｓｔｒｕｃｔｕｒｅｓｏｆｈｅｌｉｘｓｌｏｔｓ，ｍｉｃｒｏ μ ｇｅａｒａｎｄｍｉｃｒｏｈｅｍｉｓｐｈｅｒｅ．Ｔｈｅａｎａｌｙｓｉｓｒｅｓｕｌｔｓｏｆｔｈｅｓｅｔｅｓｔｓｓｈｏｗｔｈａｔｔｈｅｓｙｓｔｅｍｉｓａｂｌｅｔｏｆｕｌｆｉｌｌ ｔｈｅｍｉｃｒｏｍｉｌｌｉｎｇｍａｃｈｉｎｉｎ