催化剂对制备sio 2 减反膜的影响 - 光子学报.pdfVIP

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催化剂对制备sio 2 减反膜的影响 - 光子学报

第 卷 增刊 光 子 学 报 39       Vol.39Su.1 p 年 月             2010 12 ACTAPHOTONICASINICA December2010 文章编号: ( ) 1004100723 催化剂对制备 SiO2减反膜的影响 , 12 1 2 2 2 2 靳瑞敏 ,肖东岳 ,苍利民 ,阎韬 ,徐建军 ,韩香菊 ( 南阳理工学院 太阳能电池研究所,河南 南阳 ) 1 473004 ( 安彩高科股份有限公司 博士后工作站,河南 安阳 ) 2 455000 摘 要:以正硅酸乙酯( )为有机硅源,乙醇为溶剂, · 和 为催化剂,采用溶胶 TEOS NH H0 HCl    3 2 凝胶技术,通过调节催化剂控制 SiO2 纳米颗粒尺度,然后在玻璃上用旋涂法镀膜并对其进行热处 理,制备低折射率 减反膜 分别采用椭偏仪和扫描电镜对所制备减反膜的结构、物性进行研 SiO2 . 究,研究不同性质和剂量的催化剂对薄膜结构、折射率的影响 结果表明:通过控制适量的碱酸催化 . 剂可以制备出低折射率多孔结构的SiO2 太阳电池减反膜. 关键词:溶胶 凝胶; 减反膜;催化剂;薄膜结构  SiO2 中图分类号: 文献标识码: : / O484 A 犱狅犻10.3788 zxb201039s1.0072           g 0 引言   1 实验方法   太阳能电池作为一种清洁能源正越来越受到人 以正硅酸乙酯(TEOS)为有机硅源,同一定量 们的重视 太阳能电池分为单晶硅、多晶硅和薄膜太 . 的水、乙醇混合,选用乙醇为溶剂,其溶胶总的摩尔 阳能电池等 目前,主流的太阳能电池是晶硅电池, 比为 :去离子水:乙醇 :: 实验 :滴入 . TEOS =128. 1 没有封装成组件的单片太阳电池因为易碎不具备实 0.5摩尔的盐酸,在酸性条件下 pH=3

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