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催化剂对制备sio 2 减反膜的影响 - 光子学报
第 卷 增刊 光 子 学 报
39
Vol.39Su.1
p
年 月
2010 12 ACTAPHOTONICASINICA December2010
文章编号: ( )
1004100723
催化剂对制备 SiO2减反膜的影响
,
12 1 2 2 2 2
靳瑞敏 ,肖东岳 ,苍利民 ,阎韬 ,徐建军 ,韩香菊
( 南阳理工学院 太阳能电池研究所,河南 南阳 )
1 473004
( 安彩高科股份有限公司 博士后工作站,河南 安阳 )
2 455000
摘 要:以正硅酸乙酯( )为有机硅源,乙醇为溶剂, · 和 为催化剂,采用溶胶
TEOS NH H0 HCl
3 2
凝胶技术,通过调节催化剂控制 SiO2 纳米颗粒尺度,然后在玻璃上用旋涂法镀膜并对其进行热处
理,制备低折射率 减反膜 分别采用椭偏仪和扫描电镜对所制备减反膜的结构、物性进行研
SiO2 .
究,研究不同性质和剂量的催化剂对薄膜结构、折射率的影响 结果表明:通过控制适量的碱酸催化
.
剂可以制备出低折射率多孔结构的SiO2 太阳电池减反膜.
关键词:溶胶 凝胶; 减反膜;催化剂;薄膜结构
SiO2
中图分类号: 文献标识码: : /
O484 A 犱狅犻10.3788 zxb201039s1.0072
g
0 引言
1 实验方法
太阳能电池作为一种清洁能源正越来越受到人 以正硅酸乙酯(TEOS)为有机硅源,同一定量
们的重视 太阳能电池分为单晶硅、多晶硅和薄膜太
. 的水、乙醇混合,选用乙醇为溶剂,其溶胶总的摩尔
阳能电池等 目前,主流的太阳能电池是晶硅电池, 比为 :去离子水:乙醇 :: 实验 :滴入
. TEOS =128. 1
没有封装成组件的单片太阳电池因为易碎不具备实 0.5摩尔的盐酸,在酸性条件下 pH=3
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