一种基于mems的新型镂空压电悬臂梁能量采集器 - 微电子学.pdfVIP

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2017-09-03 发布于天津
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一种基于mems的新型镂空压电悬臂梁能量采集器 - 微电子学.pdf

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一种基于mems的新型镂空压电悬臂梁能量采集器 - 微电子学

第卷第期微电子学 , 46 3 Vol.46 No.3 年月 2016 6 Microelectronics Jun.2016 췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍 一种基于MEMS的新型镂空压电悬臂梁能量采集器 1 1 1 2 , , , 罗元万沙浪甘如饴王兴龙 ( , ; , ) 1.重庆邮电大学光电工程学院重庆 400065 2.重庆平伟实业股份有限公司重庆 405200 : , 摘要在经典的矩形悬臂梁结构基础上进行改进设计了一种新型的基板与压电膜镂空的微悬。 , ( 、、臂梁能量采集器在悬臂梁基板与压电膜上添加镂空分析其结构尺寸即镂空的长度宽度厚度 ) , , 以及数量与压电振子固有频率和开路输出电压之间的关系并通过调节其结构尺寸使压电能量。 , , 采集器具有更低的振动频率与更高的开路输出电压实验结果表明在镂空长度为200 m 宽度 μ , , , 。为数量为时该结构振子的固有频率可达到开路输出电压可达 165 m 12 399.7Hz 0.271V μ : ; ; ; 关键词能量采集器矩形悬臂梁固有频率开路输出电压中图分类号: ; 文献标识码: 文章编号: ( ) TH703TN384 A 1004-3365201603-0419-05 ANewHollowed-OutPiezoelectricCantileverBeamEner Harvester gy BasedontheMEMS 1 1 1 2 , , , LUOYuan WANShalan GANRui WANGXinlon g