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Sn催化的Ga掺杂ZnO纳米线的制备及其光致发光性能研究

陆映东 等:sn催化的Ga掺杂 ZnO纳米线的制备及其光致发光性能研究 2057 Sn催化的Ga掺杂 ZnO纳米线的制备及其光致发光性能研究 陆映东 ,常永勤 ,张敬民 ,王明文。,郭佳林 ,王永威 ,龙 毅 (1.北京科技大学 材料科学与工程学院,北京 100083;2.北京大学 物理学院,北京 100080; 3.北京科技大学 应用学院,北京 100083) 摘 要 : 采用化学气相沉积的方法 ,以Sn粉为催化 素的掺杂对 ZnO纳米线光致发光性能的影响。目前 剂制备 出大长径 比的Ga掺杂ZnO纳米线。采用扫描 尚未见到 Sn催化制备 Ga掺杂 ZnO纳米线 的报道。 电子显微镜观察制备 的产物,发现样 品为直径约 25~ 本文的研究结果表 明,和已有报道相比_l3-4_,通过Sn的 90nm 的纳米线。通过 比较不 同Ga掺杂含量样 品的 掺杂可以调整 Ga掺杂 ZnO纳米材料 的形貌 ,并且通 室温光致发光谱 ,发现一定掺杂含量的Ga可以提 高 过调整 Ga和 Sn的含量可以调控 ZnO 的光致发光性 ZnO纳米线的紫外发光强度 ,同时,Ga的掺杂也会 引 能。 起 ZnO紫外发光峰的蓝移。随着 Ga含量的增加 ,蓝 移程度越来越 小,甚至发 生红移。Sn的 引入 只对 Oa 2 实 验 掺杂 ZnO纳米线的蓝绿光有贡献。 采用化学气相沉积方法制备 sn催化的Ga掺杂 关键词 : Oa掺杂 ZnO纳米线 ;光致发光 ;化学气相 ZnO纳米线的工艺如下 :首先将 Ga液滴 (占ZnO粉末 沉积 质量的596/)放在氧化铝舟 中,然后将 ZnO粉和 sn粉 中图分类号 : TB32;0472 文献标识码:A 以 10:3的质量 比均匀混合后平铺在Ga源上面 ,将其 文章编号 :1001—9731(2011)11—2057—03 覆盖住 。将硅片在丙酮 中清洗干净后 吹干 ,硅 片置于 l 引 言 蒸发源的正上方 ,硅片距离蒸发源的垂直距离约为 5 ~ 6ram。将装有蒸发源和硅片的氧化铝舟推入管式炉 氧化锌 (znO)是一种直接宽禁带半导体材料 ,室 中,通入气流量为 20OmL/min的氩气 5rain后 ,将流量 温下的禁带宽度为 3.37eV,激子束缚能约为 60meV。 改为 12OraL/rain。将管式炉 以 15℃/min的速度升温 ZnO具有 良好 的发射蓝光和紫外光 的性能,有望替代 至 880~920。C,保温 10rain后随炉 自然冷却至室温。 GaN开发出紫外、绿光、蓝光等多种发光器件,因此成 等炉温降至室温后取 出样 品,发现有 白色产物沉积在 为人们关注的研究热点之一_1]。通过掺杂可 以有效 硅片表面 。 地改变半导体材料 的电学性能和光学性能。ZnO的掺 表 1中所列样品2、3、4、5 为使用上述方法制备 杂一般使用 Ⅲ、Ⅳ、V族元素 (如 Al、Ga、In、Sn、Sb 的样品。为进行对 比,使用同样的条件 ,将蒸发源换成 等)。其中在 ZnO 中掺人 Al可以有效地增加其导 电

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