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X-Y型表在电机驱动控制下利用光电器件和光学模式进行识别
X - Y-Z型表在电机驱动控制下利用光电器件和光学模式进行识别
Koki Yamaji Takeshi Mizuno* Naohiro Ishii**
爱知技术学院50-2町蒲郡爱知县。 , 日本443。
**名古屋理工学院御器所町昭和区,名古屋,日本466 。
摘要
采用工业机器人是实现工厂自动化的一个重要的组成部分。作为预支对使用这些机器人装配过程的进展,要求测量其职能和识别功能增加。大量研究一直致力于机器人有这些感觉能力。 自动化装配工艺要求使用准确的三个三维位置传感器和定位和拥有长度和垂直遥感能力是必不可少的对所有机械设备。各种各样的设备使用轻正在开发的许多应用中的形式的光电开关,由于其明度和快速反应。随着激光,它已成为可能获得一个连贯的光源。这使得应用程序可能呼吁以便更准确地测量和光学模式识别装置。在此研究,位置检测器的使用横向照片效果是用于位置检测和定位的代理 X-Y-Z模式。为光源,激光器(氦氖632.8nm )的使用和光受体,私营部门的使用。 这些器件适用于绝对位置检测代理以及X-Y-Z模式和模式识别。
1.导言
位置检测装置,不仅改变电动势(电阻值)相应的力量或弱点,轻攻击光受体的利用,而且还使用该传感器利用差异电动势在不同部分的光受体 。使用这些设备预计将普遍。 以一个单一的试件和光辉不平衡光源或部分光源上,不仅是产生电动势在垂直方向上的PN结,而且是横向电压产生平行的PN结由于分配不均的孔电子对所造成的密度入射光。与此相反的效力的垂直生产路口,这种现象被称为横向效果。
2.太阳能电池的横向效应
照片电动势在正常阶段的轻型故障率用方程1来表示
如果我们让表示空穴电子对外键所产生的突射光,表示光子的入射光,表示量子效率以及用表示收集效率
公式[ L ]和[ 2 ]表示电动势时, 统一入射光的太阳能电池,但是,当光源没有统一的,如点,逼近3个不同的情况下,根据对细胞的形状,它的位置和其扩散的条件,需要加以考虑。 ( 1 )横向效应时,扩散层是一个等电位。 ( 2 )横向影响时,大部分是一个等势,而且有扩散层。 ( 3 )侧时,既不影响的扩散层,也没有大量的一个等电位。 样本中的现实世界中,有许多案件照片特点符合条件( 3 ) 。
2.1样品和实验方法
样品用于这些实验的则列于表1 。 形状显示在图 1 。 厚度的扩散层是在所有情况下, 1.5 2.Opm 。字母a 圆柱形激光束直径为0.2 “ (氦氖,波1ength :长632.8纳米, 1mW )旨在根据受体表面和之间关系的立场和入射光的输出功率确定。
2.2试样
激光束的目的是边缘的试件,那么它的立场正在逐步改变。由此产生的输出电压,输出电流
和输出功率从试样中显示在图 2上。
附近的输出电极的扩散层是很大的和变小的距离,增加电极。孔电子对所产生的激光束,该漏洞集中在电极表面有一个较大的收集效率接近他们的电极。另一方面,在电子收集效率没有任何关系的立场在孔电子对创建以来的电极附均匀的大部分。这表明横向影响扩散层。
2.3试样图1(B)
激光束的目的是边缘的试件,那么它的立场正在逐步改变。由此产生的输出功率从测试
一块是在图 3 。负载电阻表示为一个参数。
产量越大,接近的立场,电极贴在较小的体积和更远的距离电极。 孔电子对所造成的发病率激光束,产量巨大点收集的电子效益是巨大的。横向效应的N层批量显示。 图的光控振荡电路用于拿起根据不同的发病率上的立场这些试件的差异在振荡频率显示图4 。业务放大器相结合的太阳能电池,并试图作出改变业务amplefier抵消目前的太阳能电池的向效应。 Therelationship轻发病率之间的立场振荡器的频率和所显示的虚线在图 3 。变化频率根据变化的根据发生变化的位置匹配的输出功率为一种趋势。
2.4图一的试样。 (集成电路)
复杂的横向效应在其中的传播要素层和散装混合在一起可预测的关系之间的形状电极的相对位置。 激光束的目的是边缘的试件,那么它的立场正在逐步改变。由此产生的输出电压,输出电流和输出功率从试样中给出了图 5 。那个负载电阻在这个时候是2KR 。
(三)根据位置的入射光,确认这些材料可用于位置检测。然而,线性之间的变化,入射光的立场和变化输出从试件是不好的。位置检测用psd位置敏感探测器检测到的立场入射光。 跨电极电阻和距离两个双面电极PSD类型如下所示图6 。
Fig .6 Resistance and distance between electrodes with the Incident beam point on a two side
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