半导体工业用石英玻璃炉管.pdfVIP

、． ， ， 半导体工业用石英玻璃炉管 中 ：专 誊 篓 ， 就经常遇到半导体工厂和本厂的业务人员、 … …：：：：．T ! 。 ’ 慧曼 妻璧戛对羹上述间题而进翌行 ～石英管的耐温性能，可以用石英管在高温下 工作二矗 、 主 三 谚 程越， ；薹 妻 曼：夏{ 置 矗； ：羞 蔷善 景 。 ： 鑫 !!兰：曼皇 妻 鲁譬登’ 大．下三增吴； 。；J的 主蔷 二：苎 曼 。苎墨小。这 ：F 二 ； ： 1其材料本身所决定的。经过世界范围内石英玻 ‘ ’。’ … … … ～。。‘ 叶】： 1)-二管直径 科研单位 ．又成功的在石英管外表面采取_=r高温 t一二管壁厚 涂层的方法 。进一步提高了石英管的耐温度 V一粘度 1．HO 含量与耐温度之 间的关系 m 然．这种下垂值也是随着高温时间的延 研究表明．影响石英管下垂抗度最重要的化 长 4：断增加的 。 学困素是HO 的含量 i、1t()含量、高温外涂层与耐温度之间的 由于石英玻璃 中HO 的存在 ，它使玻璃结 炎系 构社驰并导致键能下降。 f英管 的耐温性能除与其管径、壁厚有一定 Si一 () Si—H ()≠Sl—OH+OH—Si 乐外．j互与其OH 含量也是有一定关系的。为 由此导致玻璃的活化能随之降低．这如英国 J，提 啊f挺管的耐温度 。石英玻璃制造厂及有关 联合热力公司的资料所显示的一样。 f填破璃中HO 含蛩(Wt ) 活化能EIKcal／moD 1 l70 00 l O 20O 150 500 l34 】g00 l22 玻璃的}．化能E下降，势必导致玻璃粘度降低： 面进行高温Al()涂层．这一厚约20,um 的均匀 V—Ke。 涂层 ，能够作为向方石英转变 的成核中心 ．它使 从 Andrade方程式即可看出．活化能E 这种石英管在第一次处于 1l50【、以上高温时． l ，粘度v降低．而石英管横截面下垂度是与 促使其表面形成一层均匀的方石英薄层 正是这 牯度成反比的： 一 方石英薄层，能有效地改善石英管的耐温性 一 ． T) I、毫鹱 而 能 研究进一步表明，逸种 AI()。高温涂屠 能改