大尺寸外延片刺激LED 产业的更快发展 - LEDs科技.PDF

封面故事 封面故事 沉积设备 Deposition System 沉积设备 Deposition System C o v e r S t o r y C o v e r S t o r y LEDs TECHNOLOGY CHINA LEDs TECHNOLOGY CHINA 大尺寸外延片刺激LED 产业的 更快发展 AIXTRON 公司的Rainer Beccard 称，LED 正在进入液晶电视的背光源和普通照明领域，而更大的市场发展机 会则取决于降低每流明的成本，这可以通过在更大尺寸的蓝宝石衬底或者硅衬底上进行外延生长而得以实现。 自进入商业化市场以来，如今 纪九十年代以来，在开发早期设备时 HB LED 市场正处于最强劲的 就是这么做的，其结果是每一代新型 增长期。从最初的手机照明应用，到 设备的容量都明显大于它的上一代， 现在应用于笔记本电脑的背光源模 而设备的售价只是作了适度的提高。 块（BLU ）领域；最近，它又在大尺 但是这种升级工艺事实上存在局限 寸液晶电视的背光源中大放异彩，而 性，促使MOCVD 设备制造去寻求其 且这个领域将会成为它的主流应用市 它更智能的方法来降低LED 的生产 场。更有甚者，得益于白光LED 效 图1. 采用6 ×6 配置的AIX 2800G4 HT 反 成本。 率的快速提升，普通照明应用领域这 应器。 为了更好地了解III-V 族产业的 个终极目标终将实现。 展也同样集中在降低生长LED 结构 未来发展状况，特别是其中的LED 要演绎这个成功的童话，仍然 时的运行成本。 产业部分，那么回顾一下硅工业的发 需要显著地改善LED 的成本（更准 这种成本的降低可以通过各种途 展历程是很有意义的。在硅工业中， 确地说，改善每流明的成本）。因此， 径实现。一个办法就是开发出可容纳 越来越大的晶圆尺寸在降低硅器件的 为了降低生产成本，则需不断地提升 更多相同尺寸外延片的MOCVD 设 制造成本方面发挥了至关重要的作 LED 的制造工艺。MOCVD 设备的发 备，从而提升产能。事实上自上个世 用，从本质上说这可能会和LED 制 www.LEDsCwww.LEDsC 2010 2010年年44月月 2121 封面故事 C o v e r S t o r y 沉积设备 Deposition System LEDs TECHNOLOGY CHINA 相应地减少。昂贵的金属有机源（MO ） 和氢化物源材料的使用效率也得到了 提升，最终在MOCVD 之后的所有后 续工艺步骤也都会从中受益，产能得 到进一步提高。 使用大尺寸芯片的优势可以通过 简单的计算来体现（