36°YX-LiTaO_3基片短路栅中SH波的COM参数.pdfVIP

第32卷 第 3期 压 电 与 声 光 Vo1．32No．3 2010年 6月 PIEZOELECTRICS ACoUST00PTICS June2010 文章编号 ：1004—2474(2010)03—0337—03 36 -LiTaO3基片短路栅中SH波的COM 参数 徐方迁 ，金步平 ，庄建忠 (浙江传媒学院 电子信 息学院，浙江 杭州 310018) 摘 要 ：提 出了一个研究 36。YX—IiTaO。基片短路金属栅 中SH 型声表面波在金属短路栅 中传播时频散特性 的理论方法 ，即根据 陈东培和 H．A．Haus理论 ，利用压电晶体中的变分原理和SH型表面波 COM模 型分析 了栅 阵 中 SH 型声表面波的传播特性 。该方法不需使用复杂 的GreenSfunction，其理论分析结果与 Hashimoto有限元程 序运算结果一致 。这为压 电晶体基片 中SH型声表面波在金属短路栅 阵中传播特性 的研究开辟 了一条新 的途径 。 关键词 ：变分原理 ；声表面波 ；频散关系 中图分类号 ：TNO11．4；0426．9 文献标识码 ：A COM Parameters0fSH—typeSAW sPropagatingunderPeriodic MetalGratingon36嘲 -LiTaO3 XU Fangqian，JIN Buping，ZHUANG Jianzhong (SchoolofElectricity＆ Information。ZhejiangUniversityofMediaandCommunications，Hangzhou310018，China) Abstract：A theoreticalmethodforanalysisofdispersioncharacteristicsofSH—SAW spropagatingontheperiodic metallicgratingon36。YX—LiTaO3waspresented．BasedonD．P．ChenandHaustheory，avariationalprincipleand COM equationfortheanalysisofSH——SAW wasusedtOinvestigatethedispersioncharacteristicsofSH—-SAW propa—_ gatingonperiodicmetallicgratingstructures．A majoradvantageofthismethodisthatthereisnoneedforcomplex GreenSfunction and itStheoreticalresultsarein agreementwith thatofHashimotoSfiniteelementmethod． Thereofore，anew approachisprovidedinthispapertOanalyzethepropagatingcharacteristicsofSH—SAW inshort- circuitedgratingsonapiezoelectriccrysta1． Keywords：variationalprinciple；surfaceacousticwave；dispersionrelation 为了利用 SH型表面波设计声表面波 (SAW) 性l8。]，提出一个新的决定 SH 型表面波 Plessky的 器件 ，Plessky提 出了一个关于周期性栅 阵 中传播 COM 参数的理论方法 。 SH型表面波的耦合模理论口]，给 出了有 2个参数 本文首先给出PlesskyCOM 理论 2个参数 ，即 的 SH型表面波频散关系 ；此外 ，B．P．Abbott等提 卵和leI的