常压下用金属有机化学气相沉积法在犎犘40钢表面制备纳米氧化铝.PDF

第 卷 第 期 机 械 工 程 材 料 ３５ ７ Ｖｏｌ．３５ Ｎｏ．７ 　 　 　 　 　 　 年 月 ２０１１ ７ Ｊｕｌ． ２０１１ 　 Ｍａｔｅｒｉａｌｓ ｆｏｒ ＭｅｃｈａｎｉｃａｌＥｎｉｎｅｅｒｉｎ 　 　 　 ｇ ｇ 常压下用金属有机化学气相沉积法在犎犘４０钢 表面制备纳米氧化铝薄膜及表征 黄志荣，李攀瑜 （华东理工大学机械与动力工程学院，上海２００２３７） 摘 要：常压下用金属有机化学气相沉积法（ ），以仲丁醇铝（ ）为前驱体、氮气为 ＭＯＣＶＤ ＡＴＳＢ 　 载气在 钢表面制备了纳米氧化铝薄膜；用光学显微镜、扫描电子显微镜及能谱仪、 射线衍 ＨＰ４０ Ｘ 射仪、原子力显微镜等研究了沉积温度等参数对氧化铝薄膜沉积速率的影响，并对其形貌进行了观 －２ －１ 察。结果表明：随着沉积温度从 升高到 ，薄膜沉积速率从 · · 增加到 ５０３Ｋ ７１３Ｋ ０．１ｍ ｃｍ ｈ ｇ －２ －１ · · ；当沉积温度在 范围内，可获得晶粒尺寸为 的纳米氧 ０．８２ｍ ｃｍ ｈ ５９３ ６５３Ｋ １０ １５ｎｍ ｇ ～ ～ 化铝薄膜；反应的表观活化能随氮气与ＡＴＳＢ蒸气混合气流速增加而降低，不同的混合气流速有 不同的反应级数， 的反应级为 。 ＡＴＳＢ ０．７±０．０２ 关键词：金属有机化学气相沉积法；氧化铝；沉积速率；纳米薄膜 中图分类号： 文献标志码： 文章编号： （ ） ＴＢ３８３ Ａ １０００３７３８２０１１０７００５８０３ 　　　 　　　 犘狉犲犪狉犪狋犻狅狀犪狀犱犆犺犪狉犪犮狋犲狉犻狕犪狋犻狅狀狅犳犖犪狀狅犃犾犗 犉犻犾犿狊犇犲狅狊犻狋犲犱狅狀 狆 ２ ３ 狆 犎犘４０犛狋犲犲犾犛狌