石英玻璃之洗净方法.docVIP

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石英玻璃之洗净方法 石英玻璃在半导体工业设备上,使用温度经常在1000至1300之高温状态,在此种状态下由于附著不纯物导致失透现象发生,失透之部分为石英之晶质化,晶质化之变态点为275,当石英玻璃自高温降至此变态温度时,表面失透之晶质化部分与石英玻璃本身高温之α相与低温之β相间膨胀系数不同在急速冷却下产生不透明之剥离状,更严重时会造成破裂现象产生。为使石英制品能使用更久,就必须注意防止造成石英失透产生的原因,而造成失透的污染源就属碱金属、碱土金属、汗水、口水、油污、尘埃……等等。且0.1mg/cm2l}k 就会造成数十倍或数百倍的失透量。 因此,防止这些污染源附著在石英表面上除了不直接用空手去拿石英外,使用在高温作业之前必先做清洗之工作以确保石英表面之洁净度。 一般石英之洗净须要一些程序,首先用纯水先冲洗表面,再置入酸洗槽内浸泡一些时间,取出后再用纯水冲洗后晾干。 酸液之种类如下: 种类/项目 浓度 时间P_! 氟酸(HF) 47.0%~52.0% 1~2分钟 氟酸(HF) 5.0%~10% 10~15分钟 氟酸+硝酸 50%+65% 10~15分钟_ 氟酸+硫酸 50%+65% 10~15分钟 石英玻璃专利技术 1、玻璃质材料管,特别是石英玻璃管的制造方法 2、不透明石英玻璃的制造方法、适于执行该方法的SiO颗粒和由不透明石英玻璃构成的部件g` 3、不透明石英玻璃管生产用的硅石粉料坨的生产方法 4、采用溶胶-凝胶法制备高纯石英玻璃的方法 5、彩色石英玻璃管的制造方法 6、超细石英玻璃管及其生产方法和设备 7、大尺寸石英玻璃管的制造方法 8、大尺寸石英玻璃熔化炉 9、电阻炉生产石英玻璃的投料器 10、多点夹持牵引式石英玻璃拉管装置 11、二氧化硅粒子、合成石英粉、合成石英玻璃的合成方法 12、辐照输液器中的石英玻璃管件 13、高耐久性石英玻璃,其制造方法,使用它的部件及装置 14、合成石英玻璃制造方法 15、环形石英玻璃管制作机 16、黄色滤光石英玻璃及其制造方法 17、堇青石--熔融石英玻璃质稀土粉料煅烧皿 18、可多次使用的石英玻璃生产用石墨坩埚 19、立式四氯化硅汽相沉积合成石英玻璃的方法 20、内外经分别相等的石英玻璃厚壁管一次成型装置 21、耐高温低膨胀高硼含量封接玻璃的制备工艺 22、耐受激准分子激光的石英玻璃制造方法和石英玻璃部件 23、能吸收紫外线的透明石英玻璃及其用途 24、气炼法生产不透明乳白石英玻璃 25、溶胶-凝胶法生产石英玻璃用的组合物 26、生产管状石英玻璃产品的方法 27、生产石英玻璃管的方法和用于实现该方法的钻杆体 28、石英玻璃的构造元件及其制造方法 29、石英玻璃坩埚的制造方法 30、石英玻璃管成型装置 31、石英玻璃管烧口装置 32、石英玻璃管自动定尺切割装置 33、石英玻璃光导纤维制造方法 34、石英玻璃及其制造方法 35、石英玻璃喷镀部件及其制造方法 36、石英玻璃熔炼炉水冷电缆供电装置 37、石英玻璃体和石英玻璃支持部件的制造方法 38、石英玻璃液体电加热管 39、石英玻璃制品及其制备方法 40、石英玻璃组合物 41、石英玻璃组合物以及使用它生产石英玻璃的方法 42、石英及玻璃材料中二阶极化率产生与增强的新方法 43、双效蒸发高酸后重稀土反萃液浓缩石英玻璃设备 44、透明石英玻璃产品的制备 45、透明石英玻璃厚壁管制造方法及装置 46、无羟基透明石英玻璃的连续电熔法 47、析晶温度高于石英玻璃的高温玻璃的制造方法 48、一种立式合成石英玻璃沉积炉 49、一种耐碱玻璃球的生产方法 50、一种石英玻璃的氢氧焰燃烧器 51、一种石英玻璃管的切割装置 52、一种石英玻璃管拉制成型方法 53、一种石英玻璃管拉制成型装置 54、一种四氯化硅、多晶硅和石英玻璃的联合制备法 55、用来制造石英玻璃体的方法 56、用溶胶-凝胶过程制造石英玻璃的方法 57、用于半导体制造的石英玻璃构件 58、用于标记石英玻璃灯的方法和用其所制造的石英玻璃灯 59、用于制备石英玻璃的氯化锗和硅氧烷原料和方法 60、用于制造石英玻璃基底材料的方法 61、圆柱形石英玻璃部件的制造方法及其适用的装置 62、在石英玻璃管制造中撤出芯棒的方法和装置 63、制造石英玻璃板的方法和设备 64、制造石英玻璃体的装置和方法 65、制造石英玻璃预制件的方法 66、制造一种石英玻璃的方法和装置 67、制作石英玻璃的方法- 68、制作石英玻璃的方法 热性能 电性能 机械性能 石英玻璃热膨胀系数是:5.5x10-7cm/cm. ,是铜的1/34,是硼硅酸盐的1/7,这一特性,使其用于光学镜头,高温窗口以及要求对热变化敏感达到最低的光学应用。石英玻璃具有良好的抗热冲击性能,将1毫米厚的石英玻璃片加热的1200

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