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半导体制程机台表面处理技术介绍
半導體製程機台
表面處理技術介紹
主講者:研發中心何宜杰
2013-03-22
Why to refurbish
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範例範例 ::
•電漿蝕刻機 陽極膜(封孔
機型 :R1-DPS Chamber
(Metal Etch
電漿熔射塗層
6061-T6
鋁合金鋁合金
鋁合金鋁合金
Dome
#1
RF線圈
Center
Erosion最嚴重
BCl3,Ar,CHF3,CF4,
#4 SAA chamber wall
#4 Gase N2/80ºC/45 ºC (Sealed “A” coating
on Anodization
#5 4 sets×2件 #3 Focus Ring Wafer Particle種類
#2 Capture Ring AlF3有機polymer其他 AMAT-DPSII
12” Lower Chamber Liner
2
AGT Surface Treatment
陽極處理陽極處理
陽極處理陽極處理
(Anodized)
UHV清洗處理 電漿熔射處理電漿熔射處理
電漿熔射處理電漿熔射處理
(UHV Clean AGT (Plasma)
Self-Development
刷鍍鎳處理
拋光處理
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