铁电薄膜光波导的研究进展-激光与红外.PDFVIP

第 36卷 　第 9期 　 　　　　　　　　　　　　　　激 光 与 红 外 Vo l. 36,No. 9 　 2006年 9 月 　 　　　　　　　　　　　　　LA SER 　　IN FRARED Sep tem ber, 2006 　　文章编号 : 100 15078 (2006) 铁电薄膜光波导的研究进展 李 　锋 ,刘保亭 ,赵庆勋 ,闫　正 (河北大学物理科学与技术学院 ,河北 保定 07 1002) 摘 　要 :文章介绍了铁电薄膜光波导的特点和表征方法 ,综述了铁电薄膜材料与制备方法 ,探 讨了铁电薄膜光波导的发展趋势 。 关键词 :平面光波导 ;光波导器件 ;铁电薄膜 中图分类号 : TN 252; O484. 1　　　文献标识码 : A Research Progress of O ptica l W avegu ide Using Ferroelectr ic F ilm L I Feng, L IU B aoting, ZHAO Q ingxun , YAN Zheng (College of Physics Science Technology, H ebei U n iversity, B aoding 071002 , Ch ina) A b stract:R esearch p rogre ss of ferroelectric film op tical wavegu ide is summ arized ba sed on the characteristic s and characterization of ferroelectric wavegu ide, ferroelectric film m aterials, and depo sition m ethod s. Som e a sp ects for fu ture ferroelectric wavegu ide device have been p ropo sed. Key words:p lanar wavegu ide; wavegu ide device; ferroelectric 1　引　言 2　铁电薄膜光波导特点 平面光波导是集成光学重要的基础性部件 ,近 平面薄膜波导是由三层平面介质薄膜组成的光 年来 , 由于高科技发展的需要 ,人们对平面光波导进 波导 。中间一层介质膜的折射率最大 ,为光传播的 行了大量的研究 , 以它为基础的光信息处理 、光计算 通道 ,称为波导膜 。下层为衬底 ,上层为覆盖层 ,可 等技术发展十分迅速 。光波导最早的研究可追溯到 以用空气做覆盖层 ,衬底与覆盖层折射率相等的为 19 10年 , Hondro s和 D ebye 关于电介质棒的研究工 对称型波导 ,不相等的为非对称型波导 。由于铁电 作 [ 1 ] 。直到激光问世以后 ,才真正开始了光波导的 薄膜的光学和电光性质 ,可以用铁电薄膜作为平面 ( ) 光波导的中间介质膜 。相对于体材料而言 ,铁电薄 研究 。平面波导型光器件 光子集成器件 是采用 集成光学工艺 ,根据功能要求制成各种平面光波导 , 膜具有许多优点 : ①