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软X射线-真空紫外大电流空阴极光源的研究-光学精密工程
5 1 Vol. 5, No. 1 1997 2 OPT ICS AND PRECISION ENGINEERIN G February , 1997 X - 王淑荣 唐玉国 ( 中国科学院长春光学精密机械研究所应用光学国家重点实验室, 长春 13 22) - X , 2 A, , 1 Pa1 Pa 13 nm2 nm Ar Ar He He Al AlAl 1% , 5% : ; ; - X 1 , X , X - NIST PT BETL NPL - - X X , , NIST X - Al2 O3 ; N IST -, - X PT B NPL X ( ) - BBLL X , X Penning PT B X - ( 12 ) 6 7 , J ns ns YAG , , X , : 1996 9 5 6 5 , ( PT B) Danz- , mann X , , Penning , , , , , , X - 2 , , , , , , , , , 3 V, , , , 1 , , 8 mm, 15 mm, 6 mm, , , , 4 mm pyrex , 82 mm, 66 mm, 29 mm, 1 - 1Pa Fig . 1The structure of soft X-ray and VUV , high current hollow cathode source 1. 5 mm, 31 - 4 sr, , 1. 2 mm , 1 , , 99. 995% , 1 Pa1 Pa, 2 A , 3 h, ( 5% ) 1 : - X 7 3 3 m 2. 2 m X - , 2 2253 5 3
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