微型无痛注射硅针管的设计与制造详解.PDFVIP

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2017-06-20 发布于湖北
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微型无痛注射硅针管的设计与制造详解.PDF

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学校编码：10384 分类号密级学号：200224037 UDC 厦门大学硕士学位论文库要微型无痛注射硅针管的设计与制造摘 DESIGN AND FABRICATION OF IN-PLANE SILICON MICRONEEDLES 文郑川论指导教师姓名：高文秀教授士专业名称：微电子硕论文提交日期：2005 年月博论文答辩时间：2005 年月学学位授予日期：2005 年月大门答辩委员会主席：厦评阅人： 2005 年月摘要 MEMS 制作的微米针管基本结构与传统注射用针管一致，但是其最大特点是有三：首先是针管尺寸大大缩小，传统针管长度约 20mm，外口径约有0.5mm，而微米针管长度最大只有7mm，针管外口径只有0.1mm 左右，大大减小了穿刺皮肤组织所带来的痛感；其次，传统针管多为钢制，而微库针管多数采用MEMS 技术，其基本材料为硅，由于硅物理化学性质稳定，要不被人体组织排斥，具有极大的安全性；最后，MEMS 技术是基于成熟的半导体工艺发展而来，可以在硅片上实现大规模生产。摘常见的微针管主要分为面内构造和面外构造两种。面内构造是指针体文纵向与硅片表面平行的制造方式，多数采用深刻蚀等硅表面加工技术；而面外构造则是与硅片表面垂直，采用外延、键合等硅立体加工技术。两种论方法互有利弊，但现在都仅仅是停留在试验阶段，无法实现大规模量产。