奈米钻石场发射光电显示阵列之制作与其在气体感测上-台湾科技大学.PDFVIP

行 奈列 年 類 行 年年 行 立 參 理 理 理李 理 論 理 利 年 年 □ 成 果 報 告 行政院國家科學委員會補助專題研究計畫 □期中進度報告 奈米鑽石場發射光電顯示陣列之製作與其在氣體感測上之應用 計畫類別：■ 個別型計畫 □ 整合型計畫 計畫編號： NSC 95 －2221 －E －224 －069 －MY2 執行期間： 96 年 08月 01日至 97 年 07月 31日 計畫主持人：黃柏仁 成果報告類型(依經費核定清單規定繳交)：□精簡報告 ■完整報告 本成果報告包括以下應繳交之附件： □赴國外出差或研習心得報告一份 □赴大陸地區出差或研習心得報告一份 □出席國際學術會議心得報告及發表之論文各一份 □國際合作研究計畫國外研究報告書一份 處理方式：除產學合作研究計畫、提升產業技術及人才培育研究計畫、 列管計畫及下列情形者外，得立即公開查詢 □涉及專利或其他智慧財產權，□一年□二年後可公開查詢 執行單位：國立台灣科技大學 光電工程研究所 中 華 民 國 年 月 日 1 中文摘要 近幾年來碳屬相關材料在低壓場發射應用發展上已然有相當大的成果，即使 在低於 ~105 V/cm的電場下，仍然可獲得大的電子場發射電流密度，例如奈米 碳管 (carbon nanotubes, CNTs) 。因此，奈米碳管在真空微電子元件應用上受到廣 泛的研究興趣，尤其是在場發射顯示器應用方面之研究。 同屬碳材料的奈米鑽石 (nano-diamond)也被考慮具備有作為場電子發射源的 吸引力，主要是因為它具有極優越的化學、機械、以及熱傳導特性，大的晶粒邊 界密度、非鑽石成份 (特別是sp2 鍵結碳簇群 ) 、以及低的或為負的電子親和力 (negative electron affinity, NEA) 。 在過去的幾年裡，我們的研究團隊曾致力於使用微波電漿化學氣相沈積系統 成長多晶鑽石薄膜之研究，不僅成功的成長出多晶鑽石薄膜，同時也研究出鑽石 薄膜的電性傳導機制。而在未來，我們將延續成長多晶鑽石薄膜的經驗致力於奈 米鑽石的成長與其應用，包括尋找出最佳的奈米鑽石成長機制與其電特性，並且 研發製作奈米鑽石光電元件和在其他方面之應用。本計畫將分成兩年度完成，各 年度計畫略述於下︰ 第一年：奈米鑽石及類鑽石薄膜之沈積及品質 分析與場發射特性之量測分析 (95/8/1 ~ 96/7/31) 第二年：奈米鑽石光電顯示陣列之製作與其在氣體感測上之應用 (96/8/1 ~ 97/7/31) 本年度(96/8/1 ~ 97/7/31)為執行研究計劃第二年進度，將利用製作奈米鑽石