基于犘犇犕牦的压电驱动式系列微型泵-压电与声光.PDFVIP

第 卷第 期 压 电 与 声 光 ３８ ３ Ｖｏｌ．３８Ｎｏ．３ 　 　 　 　 年 月 ２０１６ ０６ ＰＩＥＺＯＥＬＥＣＴＲＩＣＳ＆ＡＣＯＵＳＴＯＯＰＴＩＣＳ Ｊｕｎｅ２０１６ 文章编号： （ ） １００４２４７４２０１６０３０３７７０５ 　　 基于犘犇犕犛的压电驱动式系列微型泵 １ ２ ２ １ １ 刘国君 ，刘丕浩 ，李 明 ，梁实海 ，唐春秀 　 （ 吉林大学 机械科学与工程学院，吉林 长春 ； 长春工业大学 机电工程学院，吉林 长春 ） １． １３００２５２． １３００１２ 摘 要：为进一步拓展压电微泵的应用领域，以利于更好地将其集成于微流控芯片中，该文对以固态聚二甲基 　　 　 硅氧烷（ ）为泵体材料的压电微泵开展相关实验研究。通过合理设计压电振子的支承方式、阀片结构以及采 ＰＤＭＳ 用两腔串、并联结构等措施以提高压电微泵的工作性能。分别以 和聚甲基丙烯酸甲酯（ ）为泵体材 ＰＤＭＳ ＰＭＭＡ 料设计制作了单腔微泵、双腔串、并联微泵，并对其工作性能进行对比性实验测试。实验证明，构造具有较好工作 性能的ＰＤＭＳ压电微泵具有可行性，在电压 ９０Ｖ，频率 ８０Ｈｚ的情况下，ＰＤＭＳ双腔串联泵的输出流量达到 ／ ，输出压力达到 。但与 为泵体材料的压电微泵相比， 压电微泵在流量、压力方面 ２１ｍＬｍｉｎ １０ｋＰａ ＰＭＭＡ ＰＤＭＳ 仍有近 ３０％的差距。 关键词：压电；微型泵；聚二甲基硅氧烷（ ）；聚甲基丙烯酸甲酯（ ）；微流控芯片 ＰＤＭＳ ＰＭＭＡ 中图分类号： ； ； 文献标识码： ＴＮ８０４ＴＰ３９４．１ＴＨ６９１．９ Ａ 　　　 犛犲狉犻犲狊狅犳犘犣犜犕犻犮狉狅狌犿 狊犅犪狊犲犱狅狀犘犇犕犛 狆 狆 １ ２ ２ １ １ ， ， ， ， 犔犐犝犌狌狅狌狀 犔犐犝犘犲犻犺犪狅 犔犐犕犻狀 犔犐犃犖犌犛犺犻犺犪犻 犜犃犖犌犆犺狌狀狓犻狌 犼 犵 （ ， ， ， ； １．ＣｏｌｌｅｅｏｆＭｅｃｈａｎｉｃａｌＳｃｉｅｎｃｅａｎｄＥｎｉｎｅｅｒｉｎ ＪｉｌｉｎＵｎｉｖｅｒｓｉｔ Ｃｈａｎｃｈｕｎ１３００２５ Ｃｈｉｎａ ｇ ｇ ｇ ｙ ｇ