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57.扫描电子显微镜与扫描隧道显微镜联用装置.-本原扫描探针显微镜
第 5 卷 第 1 期 分析测试技术与仪器 Volume 5 Number 1 1999 年 3 月 ANAL YSIS AND TESTIN G TECHNOL O GY AND IN STRU M EN TS Mar . 1999 ( ) 大型仪器功能开发 5～8 扫描电子显微镜与扫描隧道显微镜联用装置 李成基 李韫言 商广义 ( 中国科学院半导体研究所 北京 100083) ( 中国科学院化学研究所 北京 100080) ( ) ( ) 摘 要 : 在 KYKY - 1000B 型扫描电子显微镜 SEM 上所开发的与其联用的袖珍型扫描隧道显微镜 STM 主要 ( ) ( ) ( ) ( ) 有四个部分 : 1 减震阻尼装置 , 2 隧道探针 , 3 探针扫描与逼近装置 , 4 电子控制与图象采集系统 。它的分辨率 n 约为 1 nm 。并用它观察了半导体光栅与硅上金膜的细微结构 。 c 关键词 : 扫描电子显微镜 ;扫描隧道显微镜 ;联用装置 . 中图分类号 : O657 32 文献标识码 : B 文章编号 : 1006 - 3757 ( 1999) 0 1 - 0005 - 04 ( ) m 扫描 电子显微镜 SEM 和扫描隧道显微镜 隧道显微镜 ,它的分辨率约为 1 nm 。 ( STM) 都是在实现观察物体表面形态的重要工具 , o 有着非常广泛的应用 。普通型的扫描电子显微镜的 1 与扫描电子显微镜相结合的扫描隧 5 c 扫描范围较大 ,具有 10 nm 左右的分辨率和 10～10 . 道显微镜的结构与性能 的放大倍数 ,并易于进行选区扫描 ,而且它还有很长 的工作距离和很大的景深 ,适于观察粗糙表面 。扫 m ( ) 1. 1 扫描电子显微镜 SEM ( 描隧道显微镜 , 具有极高的空间分辨率 0 . 1～0 . 2 ) ( 5 7) p 扫描电子显微镜是国产 KYKY - 1000B 普通型 nm 和极高的放大倍数 10 ～10 ,适于观察表面起 扫描电子显微镜 ,实际分辨率约为 10 nm ;放大倍数 伏很小的光滑表面 。它的扫描面积较小 ,也难以实 s . 10～105 ; 加速 电压 0 ～30 kV ; 真空度约 5 ×10 - 5 。 现选区扫描 。如果将扫描电子显微镜与扫描隧道显 样品在 X 、Y 方向上移动范围为 0～25 mm 。为了有 微镜结合起来 ,就可以实现从宏观到微观 ,从
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