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《材料分析测试技术》 第二篇 电子显微分析 第10章 透射电子显微镜 (Transmission Electron Microscope) (Transmission Electron Microscope) §10.1 TEM的结构与成像原理 §10.2 主要部件的结构与工作原理 §10.3 TEM的分辨率和放大倍数的测定 1 §10.1 TEM的结构与工作原理 2 §10.1.0 TEM基础知识 1.基本构成 通常透射电镜由 电子光学系统、 电源系统、真空 系统、循环冷却 系统和操作控制 系统组成． 其中电子光学系 统是电镜的主要 组成部分，通常 称为镜筒． 图为日立公司H800透射电子显微镜 (镜筒) 3 图为日立公司H800透射电子显微镜 (镜筒) 高压系统 4 高压系统 真空系统 5 真空系统 操作控制系统 操作控制系统 6 观察和记录系统 7 观察和记录系统 2. 工作原理 透射电镜，通常采用热阴极电 阳 子枪来获得电子束作为照明源。 热阴极发射的电子，在阳极 加速电压的作用下，高速穿过阳 极孔，然后被聚光镜会聚成具有 一定直径的束斑照到样品上。 具有一定能量的电子束与样 品发生作用，产生反映样品微区 厚度、平均原子序数、晶体结构 或位向差别的多种信息。 8 透过样品的电子束强度 （取决于上述信息），经过 阳 物镜聚焦放大在其像平面上 形成一幅反映这些信息的透 射电子像，经过中间镜和投 影镜进一步放大，在荧光屏 物镜 上得到三级放大的最终电子 图像，还可将其记录在电子 感光板或胶卷上。 透镜电镜和普通光学显微 镜的光路是相似的。 9 光学显微镜与透射电镜的比较 光学显微镜与透射电镜的比较 比较部分 光学显微镜 透射电镜 光源 可见光 电子源( 电子枪) 照明控制 玻璃聚光镜 电子聚光镜 样本 1mm厚的载玻片 200~500nm厚的薄膜 放大成像系统