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第10讲电容式压力传感器资料
例7 容栅传感器 差动变面积型 误差平均效应 精度:10um 范围:0 ~ 150mm 容栅传感器是一种基于变面积工作原理,可测量大位移的电容式数字传感器。 参考文献: “高分子电容式湿度变送器温度补偿方法”, 《传感器技术》,2001年9期 2、“电容层析成像系统动态成像稳定性补偿方法”,《仪表技术与传感器》,2001年9期 3、“极板放在同一平面上的电容敏感器件的研制”,《传感器技术》,2001年5期 为什么电容传感器易受干扰,如何减小干扰? 如何改善单极式变间隙型电容传感器的非线性? 什么是“驱动电缆技术”,采用的目的是什么? 思考题 (2)紧耦合电感电桥 耦合系数 电路谐振点: (3)变压器电桥 回路1 回路2 节点A 差动变间隙型电容传感器: 线性关系 (4)双T二极管交流电桥 2、运算放大器式电路 变间隙型电容传感器: 线性关系 “变气隙式电容传感器非线性补偿新方法”,《传感 器世界》,2001年9期 参考文献: 跳变 触发器翻转 跳变 触发器翻转 三、脉冲宽度调制电路 参考电压 变间隙型差动电容传感器: 变面积型差动电容传感器: 一、等效电路 C —— 传感器电容 L —— 电感 RP —— 并联损耗电阻 RS —— 串联损耗电阻 CP —— 寄生电容 高温、高湿、高激励 §3 电容式传感器的应用 保护环 减小极板厚度d 极板 间隙 保护环 1、边缘效应 灵敏度降低、非线性增加 二、应用中存在问题 2、寄生电容 消灭寄生电容的影响,是传感器实用化的关键。 消灭寄生电容的方法: ① 驱动电缆法 等电位屏蔽法 ② 整体屏蔽法 ③ 采用组合式与集成技术 参考文献: “双面接触式电容压力传感器的设计及制造工艺”, 《仪表技术与传感器》,2001年9期 2、“基于参考电容的低成本智能电容传感器系统”,《仪表技术与传感器》,2001年8期 三、应用举例 例3 电容测厚传感器在板材轧制装置中的应用 “电容式板材在线测厚仪”,《仪表技术与传感器》,2001年4期 参考文献: 例4 电容式称重传感器 误差平均效应 参考文献: “电容式称重传感器”,《传感器技术》,2001年6期 例5 电容式压力传感器 单只变间隙型 差动式 惯性原理 例6 电容式加速度传感器 ADI公司ADXL全系列加速度传感器 参考文献: “利用电容式加速度传感器测量电梯运动特性”, 《仪表技术与传感器》,2001年6期 * 传感器与检测技术教程 传感器与检测技术教程 现代医用传感器技术 第10讲 电容式压力传感器Capacitive Pressure Sensors C —— 电容量,单位:F 法拉 —— 真空介电常数,8.85×10-12F/m —— 极板间介质的相对介电常数 A —— 极板的有效面积(m2) —— 两平行极板间的距离(m) 1、平板电容器 §1 电容式传感器的原理和结构 2、圆筒形电容器 极板上移: 1、基本特性 二、变间隙型电容传感器 讨论: (1)略去高次项 (2)考虑二次项 2、有介电层的变间隙型电容传感器 动极板上移: 初始位置时, 3、差动式变间隙型电容传感器 提高一倍 减小 略去高次项: 中间极移动式变面积型 差动结构变面积型 板状线位移变面积型 角位移变面积型 筒状线位移变面积型 结构型式 三、变面积型电容传感器 线性 1、板状线位移变面积型 线性 2、角位移变面积型 线性 3、筒状线位移变面积型 4、中间极移动式变面积型 ① 扇形平板结构 5、差动结构变面积型 ② 柱面型结构 四、变介质型电容传感器 例1:薄膜测厚 参考文献: “高静电场下的薄膜测厚技术”,《仪表技术与传感器》,2001年8期 线性 例2:电容式液位传感器 1、“用MATLAB语言建立液位电容传感器特性的数学 模型”,《传感器技术》,2001年6期 参考文献: 2、“射频电容式传感器的研究与应用”,《传感器技 术》,2001年2期 设计一个油料液位监测系统。当液位高于 H1 时,鸣响震铃且红色LED亮,当液位低于 H2 时,鸣响震铃且黄色LED亮,当液位处于 H1 和 H2 之间时,绿色LED亮。 差动变间隙型电容传感器,初始电容 , 初始间隙 ,设动极板相对于定极板位移了 ,计算其非线性误差。若改为单极平 板电容,初始值不变,非线性误差有多大? 如何改善单极式变间隙型电容传感器的非线性? 思考题!!! 电容式传感器 测量电路 被测非电量 U、I、f 电容 直放式 外差式 普通交流电桥 耦合电感电桥 变压器电桥 双
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