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用于高效太阳电池的硅基微纳结构及制备，窦丙飞
材料与结构 ＭａｔｅｒｉａｌｓａｎｄＳｔｒｕｃｔｕｒｅｓ 用于高效太阳电池的硅基微纳结构及制备 ａ ａ ａ ａ ａ ， ， ， ， ， 窦丙飞 贾 锐 陈 晨 李昊峰 岳会会 ｂ ａ ｂ ， ， 陈宝钦 刘新宇 叶甜春 （ ； 中国科学院 微电子研究所 微波器件与集成电路研究室 ａ． ， ） ｂ．纳米加工与新器件集成技术研究室 北京 １０００２９ ： ， 摘要 介绍了用于高效太阳电池的几种硅基微纳结构的必威体育精装版研究进展 重点介绍了几种硅基微纳 ， 、 （ ） ， 结构的制备方法 如阳极腐蚀制备多孔硅 各向异性制绒以及气液固 ＶＬＳ 生长纳米线等 并 ， 。 对各种方法的特点作了分析比较 指出了各种方法存在的问题 最后对今后研究的方向做了展 ， ， 望 由于太阳电池在性能提高以及产业应用方面的需求 未来用于高效太阳电池的硅基微纳结构 。 ， 仍是研究的热点之一 进一步提升其对太阳电池效率的优化能力将是研究的重要关注点 而其制 、 。 备技术也将向着低成本 大规模及可控制的方向发展 ： ； ； ； ； 关键词 硅基微纳结构 太阳电池 陷光 纳米线 多孔硅 中图分类号： ； 文献标识码： 文章编号： （ ） ＴＢ３８３ ＴＭ９１４．４ Ａ １６７１－４７７６ ２０１１ １１－０７０２－０８ ／ ＳｉｌｉｃｏｎＭｉｃｒｏ ＮａｎｏＳｔｒｕｃｔｕｒｅｓｆｏｒＨｉｈＥｆｆｉｃｉｅｎｃ Ｓｏｌａｒ ｇ ｙ ＣｅｌｌｓａｎｄＴ
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