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2017-06-19 发布于天津
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2.氟化钙污泥再利用处理技术

氟化鈣污泥再利用處理技術朱敬平 cpchu@sinotech.org.tw 財團法人中興工程顧問社環境工程研究中心 105年9月29 日 1 廢水污泥減量技術手冊書名廢水污泥減量技術手冊出版機關經濟部工業局王祖珩、江東法、朱敬平、吳文龍、周珊珊、張添晉、張芳淑、陳永輝、陳見財、莊順興、編者黃志彬、黃香玫、楊義榮、楊萬發、歐陽嶠暉、劉建民、賴佳鈺、蕭如蓉出版年月民國94年11月 ISBN 9860031682 財團法人中興工程顧問社環境工程研究中心 2 氟化鈣污泥來源 3 相關製程晶圓與半導體製造業發光二極體製造業液晶顯示面板製造業財團法人中興工程顧問社環境工程研究中心 4 相關製程(續) 太陽能電池製造業其它光電材料及元件製造業財團法人中興工程顧問社環境工程研究中心 5 廢液與廢水種類使用氫氟酸(49%)蝕刻晶圓、IC 、TFT-LCD面板與太陽能面板，產出氫氟酸廢液。高濃度氫氟酸廢液(CHF) ：氟濃度＞0.5﹪ 低濃度氫氟酸廢液(LHF) ：10ppm ＜氟濃度＜0.5 ％，包含低氟濃度製程廢水 Local scrubber排水 Central scrubber排水財團法人中興工程顧問社環境工程研究中心 6 氟系廢水之處理 7 處理原理最常見者為添加鈣鹽，產生氟化鈣固體顆粒 CaCl + 2HF → CaF ↓+ 2HCl 2 2 Ca(OH) + 2HF → CaF ↓+ 2H O 2 2 2 由於氟化鈣顆粒表面電性為正電，可直接添加陰離子助凝劑，加以混凝沉澱可混合CMP廢水，使帶正電性之氟化鈣及負電性之