等离子体表面处理及大气压下的辉光放电.PDFVIP

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!9I ! !#$% ’’( )*+, -./%0+1 233040%$ 5./6(7 8.69 !!!! ! 文章编号! % :’’ :U:I’7 ’’( ’9U’’9IU’( 综 述 ! !!!! 等离子体表面处理与大气压下的辉光放电 : : ! ! ! 李成榕 王新新 詹花茂 张贵新 %:6 华北电力大学电力工程系 北京 :’’I # 6 清华大学电机工程系 北京 :’’’K9 !#$%# $’(#)* +’*,+%*-+ #-. ,+%/$!0*’1) !’*$$’* 2/3 .1$40,’2* : : LM ,1=+!4.=+ F N28O P*=!Q*= F RS28 S!T. ! RS28O O*!Q*= !:6 ;.4%, ,*= ?/1@%4*@ A.B14 C=*D14$*%EF G1*H*=+ :’’I ,*= # 6 J$*=+, C=*D14$*%EF G1*H*=+ :’’’K9 ,*= $ 摘要 与传统的方法相比 等离子体处理的高效 无毒 节 ! ’ ’ 材料表面进行改性 可能增加或去除材料表面吸附 能特性使得它在表面处理和灭菌消毒方面有着很好的应用 的几个单 原子或分子 层 可能涉及到表面的化学 % # 前景 ( ) ’ 在上述工业领域 经典 的大气压放电诸如电晕放电 可能增加或去除表面电荷 可能改变材料表面 反应# # * 介质阻挡放电以及电弧放电都不适用 然而 尽管低气压下

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