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附件二BTU-APPX2 PVD 600 技术规格 本规格主要描述PVD600系列干燥炉/烧结炉的工作特性及配置。系统是由RTP快速热处理PV600系列太阳能电池金属化炉和D-900系列红外烘干炉组成。PV600系列红外金属化炉适用于在750~950?C的排胶、金属化工艺，及BSF背电极烧结。 炉子规格 最高温度: 1050 ?C 工作温度范围 干燥：100-400 ?C 烧结区：200-1000?C 可控加热温区 干燥区：3 烧结区：6 加热区长度 干燥区：90英寸（228.6厘米） 烧结区：60英寸(152厘米) 工作空间尺寸 PVD614 网带宽 14英寸（35.5厘米） 网带上方高度0.75英寸（19厘米） 网带离地高度 36英寸（914厘米） 炉子结构 英寸 厘米 干燥区 装载台 15 38 进口，挡板及排放 14 36 收集盘及过渡排放区域 1 2.5 1区 30 76 2区 30 76 3区 30 76 出口，挡板及排放 15 38 干燥/烧结过渡及监测区 13 33 （分隔节） 排胶及烧结区 进口，挡板及排放 15 38 1区 15 38 2区 15 38 3区 7.5 19 4区 7.5 19 5区 7.5 19 6区 7.5 19 保温过渡通道及排放 5 13 强制水冷区 20 51 强制空气冷却区 88 224 卸载台 15 38 框架余量 17 43 整个系统长度 368 935 整个系统宽度 38 96.5 整个系统高度 66 168 C．驱动系统 网带宽度 PVD614 14英寸（36厘米） 网带材质 镍铬金属 网带类型 多孔 速度范围 22-250英寸/分钟（56-630厘米/分钟） 运行方向 进口方向看，从左到右运行 带速是程序闭环控制，通过计算机设定，显示英制或公制单位。 网带速度偏离设定值或停止时，计算机自动报警。可以设定速度偏差范围。 网带材质是镍铬金属，80%的镍，20%的铬。 网带回送系统不接触任何金属，保证炉腔不受污染。 D． 工艺腔 干燥炉和烧结炉的入口挡板安装在一个铝壳内，内衬陶瓷保温材料。喷吹气体由网带上下进入，形成气帘。挡板固定在可以方便拆装的金属滴盘上，炉腔内气体通过金属滴盘上排出炉腔。 干燥炉和烧结炉部分都置于铝质炉壳内，内衬陶瓷纤维材料。干燥区额定温度为400?C，烧结区额定温度为1000?C。工艺气体首先被引入一个腔体，该腔体位于铝质外壳和多孔保温材料之间，气体加热后通过保温材料进入工艺腔。这种气体引入方式可以避免大量气体的流入对温度曲线的干扰。而且，这种方式可以消除产品废气在炉膛内壁的聚集。 辐射加热通过密闭石英管内的钨丝来完成。在干燥区，加热灯管位于传送网带的上方，发出的辐射波长为3-6um之间。在烧结区，加热灯管位于传送网带的上下方，发出的辐射波长为1.2-2.8um之间。每英寸输出功率达到30瓦，干燥区和烧结区内部可以在数分钟内达到一个平衡状态。腔体构成如下： 区域 长度 灯管数（上和下） 灯管间距 干燥1区 30” 10-T 0-B 2.875” 干燥2区 30” 10-T 0-B 2.875” 干燥3区 30” 10-T 0-B 2.875” 烧结1区 15” 6-T 6-B 2.3” 烧结2区 15” 6-T 6-B 2.3” 烧结3区 7.5” 4-T 4-B 1.2” 烧结4区 7.5” 4-T 4-B 1.2” 烧结5区 7.5” 4-T 4-B 1.2” 烧结6区 7.5” 4-T 4-B 1.2” 网带由炉膛内的石英管支撑。为补偿炉膛两侧的热量损失，加热丝安装在网带两侧的石英管内。左右两个边加热器的功率输出可以按左右能量需求大小比例调节，调整范围从0-100%。 炉子过渡通道采用气帘将加热区和冷却区分开，气帘在网带上下形成气刀。 冷壁水冷区确保高效的热交换，该区40英寸长，冷壁位于网带上下，冷却水由用户提供。进口水温和出口水温都有监测，同样水流也自动监测。 在水冷区和强制风冷区之间装备一个可以调节高度的不锈钢挡板。 强制空气冷却用来对高速运行的产品进行降温处理。它由两个相同风机驱动的部分组成，每个部分长44英寸。安装在顶部的风机将周围环境气体经过过滤后，向下形成正压层流，吹向整个冷却区域。这些气流又经过网带下方收集排出，通过强制排风与用户排放系统相接。上下风机速度通过菜单由炉子控制器来调整控制。 E．控制系统 计算机控制系统位于进口装载区。键盘和显示器放置于进口端的摇臂上。 温度通过BTU的控制软件WINCON和INTELLIMAX控制器来实现闭环控制，计算机操作系统是WINDOWS XP 专业版。 通过设置密码来实现安全操作，不同的操作者有不同的操作级别和权限