激光打标中振镜几何畸变误差多项式拟合校正_彭留永.pdfVIP

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2017-06-12 发布于河南
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激光打标中振镜几何畸变误差多项式拟合校正_彭留永.pdf

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激光打标中振镜几何畸变误差多项式拟合校正_彭留永

37 5 激光技术 Vol． 37 ，No． 5 第卷第期 2013 9 September ，2013 年月 LASER TECHNOLOGY 文章编号:1001-3806 (2013)05-0601-04 激光打标中振镜几何畸变误差多项式拟合校正 1 2 1 1* ，，，彭留永王宣雅周建涛裴红星 (1. ， 450001 ;2. ， 47 1100) 郑州大学物理工程学院郑州河南煤业化工集团洛阳永龙能化有限公司洛阳 : 2 ，，摘要为了消除激光打标系统中由维振镜物镜前扫描引起的打标点几何畸变误差分析误差产生的原因 (，) ，， (x ，y ) 在振镜扫描角度 α β 理想计算公式的基础上采用最小二乘曲线拟合的方法得到用打标点坐标表示的补 (，) ，。，偿 α β 误差的拟合多项式从而对激光打标点的畸变误差进行了校正通过校正可以将激光打标点的最大几何 3. 2mm 20 m ，、。，、畸变误差由降至 μ 以内且计算量小速度快结果表明该误差校正算法可以满足高速高精度激光 ; ，。打标的需要同时可通过改变物镜焦距计算出新的补偿公式以应用于不同参量的激光打标系统 : ; ; ;2 ; 关键词激光技术激光打标多项式拟合维振镜误差校正中图分类号:TN249 文献标识码:A doi :10. 7510 /jgjs. issn. 1001-3806. 2013. 05. 009 Polynomial fitting correction of galvanometer geometric distortion error in laser marking PENG Liu-yong 1 ，WANG Xuan-ya2 ，ZHOU Jian-tao1 ，PEI Hong -xing 1 (1. School of Physics and Engineering ，Zhengzhou University ，Zhengzhou 450001，China ;2. Luoyang Yonglong Energy Limit- ed Company ，Henan Coal Chemical Industry Group ，Luoyang 47 1100 ，China)