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【2017年整理】仪器分析_张新荣_电子探针显微分析方法
1 电子探针显微分析方法（EPMA） Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 2 引言 重要性： 电子探针是材料研究中非常有用的仪器，可以解决材料显微结构－配方－工艺－性能关系的许多关键问题。是新材料研制和材料改性的主要研究手段之一。材料研究者必须学习这类现代仪器的基本原理、用途、测试方法、显微结构及数据分析方法，才能对结果作出正确解释。 应用：高校、科研单位、工厂实验室及在线检测等得到了广泛应用。 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 3 主要内容 基本概念(显微结构、分辨率、有效放大倍率、工作距离、检出角、标准样品、标准方法等） 分析原理 仪器构造 分析方法 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 4 EPMA概述 电子探针英文缩写为EPMA (Electron Probe X-ray MicroAnalyser)。一种电子束显微分析的仪器，是通过电子束激发试样微区产生的二次电子、背散射电子、及X射线等信息，进行试样表面形貌观察及成分分析。成分分析主要用波谱仪（WDS：Wavelength Dispersive Spectrometer ），也可以用能谱仪（EDS： Energy Dispersive Spectrometer)进行成分分析。 最近国际标准化组织（ISO)微束分析标委会正在制定一个电子探针名词术语国际标准，该标准由美国和中国提出，草案已经提出三年，现在正在投票中，国家标准也在同步采标。国际标准对EDS、EDX、EPMA有明确的定义。 EDX： Energy Dispersive x-ray spectrometry：能谱学 。 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 5 ISO对EPMA定义 ISO电子探针名词术语标准中，EPMA为电子探针显微分析技术及电子探针仪的缩写。 1、Electron Probe MicroAnalysis（EPMA） （电子探针显微分析） 利用聚焦电子束与试样微米至亚微米尺度的区域相互作用，用X射线谱仪对电子激发体积内的元素进行分析的技术。 2、 Electron Probe MicroAnalyzer（EPMA) (electron probe)：电子探针仪 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 6 电子探针仪(EPMA) 一种用电子激发X-射线的显微分析仪器，其配置应包括一个能将电子束聚焦成微米、亚微米尺度的电子光学系统（镜筒）。一台对试样位置进行观测和精密定位的光学显微镜和一套波谱仪， 也可以附加一套能谱仪。其电子光学系统应包括电子束扫描系统以及一个或多个电子探测器，以便具有扫描电镜的成像功能。 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 7 EPMA、SEM区别 EPMA：用于成分分析、形貌观察，以成分分析为主。主要用WDS进行元素成分分析、检出角大、附有光学显微镜（OM），可以准确定位工作距离(物镜极靴下表面与试样表面之间的距离 )、电流大、稳定，所以定量结果准确度高,检测极限低。 缺点：真空腔体大，成分分析束流大，所以电子光路、光阑等易污染，图像质量不如SEM，EPMA二次电子像分辨率约为3nm(LaB6)－6nm。 SEM：用于形貌观察、成分分析（一般用EDS分析），以形貌观察为主。图像分辨率高，FESEM:0.5纳米－1纳米； W灯丝SEM：3纳米 EPMA比SEM价格贵几倍。 Eva
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