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2017-06-02 发布于湖北
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TSV 通孔建模提参

Acta Phys. Sin. Vol. 61, No. 6 (2012) 068001 - * † ( , 710071 ) ( 2011 5 26 ; 2011 7 11 ) (TSV) . TSV , TSV - (RC) , Q3D . TSV RC , . 45 nm , . , TSV RC 10%, 21%; , TSV . , TSV . : , , , PACS: 80.30.−r, 84.40.Bw 1 TSV ; TSV RC , . [7] TSV , , TSV , TSV . . , . , TSV , TSV RC . . . TSV , [1], (TSV) TSV RC , Q3D , , , ; TSV , , , , , ; 45 nm (CMOS) , , , , . TSV RC , TSV , , TSV . TSV . , TSV [2] Q3D, TSV . - - (RCL) ; [3] TSV 2 TSV RC TSV , TSV ; [4] , TSV (BEOL) TSV ; [5,6] TSV . * (: (: 2009ZX01034-002-001-005) . † E-mail: zmyh@263.net c 2012 Chinese Physical Society 068001-1