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扫描隧道显微镜扫描器的迟滞非线性控制
第 卷第 期 振动测试与诊断
年 月
扫描隧道显微镜扫描器的迟滞非线性控制
季宏丽 孙宏君 裘进浩 陈远晟 朱孔军
南京航空航天大学机械结构力学及控制国家重点实验室 南京
南京理工大学能源与动力工程学院 南京
摘要 压电驱动器被广泛应用于扫描隧道显微镜 简称 的扫描器但压电材料本
身的迟滞非线性特性影响了 的扫描精度为了补偿由于迟滞非线性带来的扫描器控制误差提高 的扫描
精度基于迟滞非线性模型设计了前馈控制器并与 反馈控制相结合利用所设计的控制器进行了扫描实验
并与位移反馈控制扫描进行对比实验结果表明采用位移反馈控制时光栅周期相对测量误差和光栅线宽相对测量
误差分别为和 采用迟滞逆模型与反馈的复合控制后光栅周期相对测量误差和光栅线宽相对测
量误差分别减小到 和 迟滞引起的非线性误差得到了补偿减小了扫描器控制误差提高了扫描精度
关键词 扫描隧道显微镜压电驱动器迟滞控制扫描控制
中图分类号
数但是过高的反馈系数容易导致系统失稳 文
献 设计了基于迟滞逆模型的控制器将其应用
引 言
于压电驱动器的控制中 目前被用于描述压电驱动
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