无需参考信号的单晶炉温度干扰抑制新方法_张新雨.pdfVIP

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2017-05-31 发布于江苏
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无需参考信号的单晶炉温度干扰抑制新方法_张新雨

西安理工大学学报 ’ （）ＪｏｕｒｎａｌｏｆＸｉａｎＵｎｉｖｅｒｓｉｔｏｆＴｅｃｈｎｏｌｏ２０１４Ｖｏｌ．３０Ｎｏ．４３７９　　　　ｙ　ｇｙ　　文章编号：（）１００６４７１０２０１４０４０３７９０７　　－－－无需参考信号的单晶炉温度干扰抑制新方法，，，，张新雨刘丁梁军利汪姣杨文（，）西安理工大学自动化与信息工程学院陕西西安７１００４８：，，摘要为有效地抑制单晶炉热场温度测量值中的低频干扰改善热场温度的估计精度提出了一种。，无需参考信号的新的自适应对消法该方法将迭代自适应法引入自适应对消法中利用迭代自适，应法从输入信号中逐个估计低频干扰分量并且在估计每个干扰分量的过程中能够减少其它分量，。，，的影响将各个干扰分量消除仿真和工程实验结果表明该方法在无需参考信号的条件下能够，，，准确地估计各个干扰分量从而有效地抑制单晶炉热场温度测量值中的干扰优于现有方法符合单晶炉热场温度控制系统的工艺要求。：；；；；关键词单晶炉热场温度低频干扰干扰抑制自适应对消法迭代自适应法中图分类号：，文献标志码：ＴＰ１４ＴＰ２７４Ａ　　　Ａｎｏｖｅｌｉｎｔｅｒｆｅｒｅｎｃｅｓｕｒｅｓｓｉｏｎｍｅｔｈｏｄ　　　ｐｐ　ｗｉｔｈｏｕｔｒｅｆｅｒｅｎｃｅｓｉｎａｌｏｆｓｉｎｌｅｃｒｓｔａｌｆｕｒｎａｃｅｔｅｍｅｒａｔｕｒｅ　　ｇ　　ｇ　ｙ　　ｐ，，，，ＺＨＡＮＧＸｉｎｕＬＩＵＤｉｎＬＩＡＮＧＪｕｎｌｉＷＡＮＧＪｉａｏＹＡＮＧＷｅｎ　ｙ　ｇ　　　（， ’ ， ’ ，）ＦａｃｕｌｔｏｆＡｕｔｏｍａｔｉｏｎａｎｄＩｎｆｏｒｍａｔｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎＸｉａｎＵｎｉｖｅｒｓｉｔｏｆＴｅｃｈｎｏｌｏＸｉａｎ７１００４８Ｃｈｉｎａｙ　　　　ｇｇ　ｙ　ｇｙ　　