[机械标准]JBT 8945-1999 真空溅射镀膜设备.pdfVIP

ICS 23. 160 J 78 JB/T 8945 1999 真空溅射镀膜设备 Vacuum sputtering coating plant 1999-07-12 发布 2000-01-01 实施 国 家 机 械 工 业 局 发 布 JB/T 8945 1999 前 言 本标准由全国真空技术委员会提出并归口。 本标准起草单位：广东 空设备厂股份有限公司、上海真空泵厂、沈阳真空技术研究所。 本标准主要起草人：蔡东锋、张远青、李春影、李玉英。 I 中华人 民共和国机械 业标准 JB/T 8945 1999 真空溅射镀膜设备 Vacuum sputtering coating plant 1 范围 本标准规定了 空溅射镀膜设备的型号和基本参数，技术要求，试验方法，检验规则，标志、包 装、运输和贮存等。 -4 -3 本标准适用于压力在1×10 ~5 ×10 Pa 范围的真空贱射镀膜设备 （以下简称设备）。 2 引用标准 下列标准所包含的条文，通过在本标准中引用而构成为本标准的条文。本标准出版时，所示版本 均为有效。所有标准都会被修订，使用本标准的各方应探讨使用下列标准必威体育精装版版本的可能性。 GB 191 1990 包装储 图示标志 GB/T 6070 1995 真空法兰 GB/T 11164 1999 真空镀膜设备 通用技术条件 GB/T 13306 1991 标牌 JB/T 1090 1991 J 型真空用橡胶密封圈 JB/T 1091 1991 JO 型和骨架型真空用橡胶密封圈 型式及尺寸 JB/T 1092 1991 O 型真空用橡胶密封圈 型式及尺寸 JB/T 7673 1995 真空设备 型号编制方法 3 型号与基本参数 3. 1 设备的型号应符合JB/T 7673 的规定。 3. 2 设备的基本参数应符合表1 的规定。 表 1 基本参数 参 数 数 值 参 数 名 称 A B 极限压力 -4 -3 ≤5 ×10 ≤5 ×10 Pa -3 -2 恢复真空抽气时间 从大气压至7 ×10 Pa 从大气压至7 ×10 Pa min