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2017-05-27 发布于广东
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表面分析技术在材料研究中的应用.pdf

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维普资讯第 31卷第 2期金属材料研究 Vo1．31，No．2 2005年 6月 RESEARCH ON METALLIC MATERIALS June．2005 表面分析技术在材料研究中的应用徐炜新 (宝钢集团上海五钢有限公司上海市金属功能材料重点实验室上海 200940) 摘要简要叙述了在材料科学中常用的三种表面分析技术 AES(AugerElectronSpectroscopy)、XPS(X—ray PhotoelectronSpectroscopy)和 SIMS(SecondaryIonMassSpectroscopy)的基本原理和装置。介绍了它们在这一领域中的部分应用。关键词表面分析 AES XPS SIMS EngineeringApplicationofSurfaceAnalysisTechniquesin’MaterialsResearch Xu W ei．xin (BaosteelGroupShanghaiNo．5SteelCo．，Ltd．，ShanghaiKeyLabofFunctionalMaterials，Shanghai，200940) ABSTRACT SurfaceanalysistechniquesofAES(AugerElectronSpectroscopy)，XPS(X—ray PhotoelectronSpectroscopy)andSIMS(Secondary Ion MassSpectroscopy)are introduced briefly．SomeEngineeringapplicationsofthem inmaterialssciencearegiveninthispaper． KEY W ORDS surfaceanalysis，AES，XPS，SIM S 0 引言块体分析；、 · ：·：·：·：薄膜分析固体表面，或者界面，它的许多特性与其体内晰往往有很大的差异，它构成了物质的一个特殊非均匀相。这是因为表面是固体的终端，固体内部 ●o o 三维周期势场在表面中断，这形成了表面的化学 o o o o 戛 ●o oo 0 o o oo oo 组合、原子排列、原子振动、电子结构和体内的