磁控溅射仪操作步骤.docVIP

磁控溅射仪操作步骤（C114） 溅射前检查设备 各电源连接是否正常；各开关是否置于“关”的位置；各旋转按钮是否归零；各个阀门有 没有关闭。 开水泵 给设备送水（室外放置）。 开启总电源 送电（西墙电源盒左下角的上下开关）。 开腔、取样、放样 1) 调靶位至最高位置 2) 开溅射仪设备总电源 3) 降下样品库 4) 打开放气阀（听不到进气声后，再停 1 分钟左右升起上盖） 5) 升起上盖、取样、换样；降下上盖，关闭放气阀（一定记得关闭！！） 抽真空 6) 启动机械泵 7) 打开 CF35 角阀 8) 打开分子泵总电源（预热） 9) 打开热偶计 10) 热偶计读数在 5Pa 左右，关闭角阀 11) 打开分子泵前级阀（旁抽阀Ⅱ），抽 1-2 分钟左右 12) 按下分子泵“启动”按钮 13) 分子泵转速高于 100 后，开启闸板阀（缓慢开启，至全开） 14) 打开电离计，真空度达到所需气压值，记下基底气压值，准备溅射 充 Ar 气 16) 调靶位 17) 打开所需要的电源（预热）和冷水增压泵 A：流量计电源、样品台电源、挡板电源； B：灯丝电源（射频溅射）、排风扇+励磁电源+直流电源 Power（直流溅射） 18) 关闭电离真空计（溅射期间不可打开电离真空计！） 19) 关闭闸板阀 27~28 圈 20) 打开热偶计 21) 打开 Ar 瓶、减压器旋钮，打开混气阀（缓慢开启，观察气压） 22) 流量计拨到“阀控”，设定电位器（缓慢调节，气压读数有滞后） 溅射 23) 检查 Ua 粗、细调是否置 0，功率量程是否 23) 打开靶Ⅱ（开/关），调整励磁电流（1.6A） 200W 打开靶Ⅱ 24) 按蓝色按钮“SETPT”,调 Level 设定所需 24) 开启射频按钮“On”（进气后灯丝预热基 功率 本结束） 25) 按下 OUTPUT 的蓝色“On”挡（开始处于 25) 先调 Ua 粗调，后调细调，同时调节 C1、 Off 档），使其起辉 C2， 观察输出功率和反射功率指针读数 26) 打开“Right Display”的 Autual,查看工 （反射 Pf 接近 0） 作功率、工作电压和工作电流 26) 观察是否有自偏压起辉 （*如不起辉，开挡板或者增大气压或者增大励 （*若不起辉，开挡板或增大气压值） 磁电流或者增大功率） 27) 预溅 10~30 分钟起辉稳定后，打开样品台“正转/反转”按钮，旋钮旋至 2.5 圈以上，打开 样品挡板，立即计时。 （溅射期间观察分子泵转速是否正常；观察气压气流有无变化；观察起辉是否正常……） 溅射完毕 停止溅射 28) 关样品挡板，关靶挡板，关挡板电源 29) 样品台转到旋钮旋调 0，关正转/反正按钮，关样品台电源 30) 设定电位器旋钮调 0，拨到“关闭”，关流量计电源 2 31) 板压 Ua 细调、粗调均调至 0 31) 励磁电流调至 0，关闭“开/关” 32) 关闭射频红色按钮 Off 32) 直流电源调至 0，按下“Off” 33) 关混气阀，关减压器，关 Ar 瓶 34) 关励磁电源，关直流电源，关灯丝开关（电源统一开，所以统一关闭） 35) 关增压泵 继续抽真空 9. 停止抽真空 开腔 36) 开闸板阀 36) 关闸板阀（听到响声为止） 37) 开靶挡板，升起靶位至最高 37) 关分子泵“停止”按钮 38) 降下样品库，换片 38) 等分子泵转速为 0,400 闪动时，关闭分子 泵电源 39) 关旁轴阀Ⅱ 40) 关机械泵“关”按钮 41) 关总电源 反复重复以上 1）——38）或者 41）过程 注意数值记录： 射频靶 SiC：靶位；Ar 流量和热偶计读数；工作功率 Pf 60W；板压电压 Ua，板压电流 Ia；自 偏压；工作时间。直流靶 Mn：靶位；Ar 流量和热偶计读数；工作功率 8W；工作电流；工作 电压；励磁电流；工作时间。 3