透明导电膜光学性质.doc

透明導電膜光學性質 金屬氧化物薄膜在紫外光區有高的吸收率，在可見光區(380～760nm) 有高穿透率，而在紅外光區（2~100μm） (optical selectivity)，[15,16]，如圖2-3所示。 在紫外光區時因（λg＞λ）為高吸收且低穿透，所以當入射光的能量大於能隙時，會將價帶上的電子激發到導帶上，而造成吸收，所以可透光的短波長是以半導體材料的能隙決定，則稱為能隙波長（λg）。 可見光區因(λg＞λ＞λp)為具有高穿透且低反射，所以藉由摻雜雜質來增加載子濃度，使自由載子吸收較於電漿頻率較低的光，所以當載子濃度提高會影響薄膜其透明性。 紅外光區因(λ＞λp )為具有高反射且低穿透，所以金屬氧化物和金屬內的自由載子是以電漿狀態的形式存在，故會產生所謂的電漿振動，而形成電漿振動與入射光互相作用，所以當入射光的頻率小於電漿頻率時，則入射光會被反射，而金屬的電漿頻率對應的波長於紫外光區，故金屬氧化物的電漿頻率則為紅外光區。 圖2-3 透明導電膜的光穿透、反射與吸收光譜的示意圖[17]