多面棱体的时栅转台自动标定系统设计.pdfVIP

100 传感器与微系统(TransducerandMicrosystemTechnologies) 2016年 第35卷 第4期 DOI：10．13873／J．1000-9787(2016)04-0100-04 多面棱体的时栅转台自动标定系统设计水 王淑娴 ，彭东林 ，高忠华 ，张旭云 ，周金钢 ，郑方燕 ， (1．重庆理工大学 机械检测技术与装备教育部工程研究中心，重庆 400054； 2．重庆理工大学 时栅传感及先进检测技术重庆市重点实验室。重庆 400054) 摘 要：针对传感器安装偏心、使用环境变化等因素造成时栅转台精度降低的问题，提出了由多面棱体和 自准直仪对误差进行标定，并利用谐波修正技术进行误差修正的时栅转台自动标定系统。系统以多面棱 体和自准直仪高精度测量仪器作为测量基准，以ARM处理器为核心对步进电机进行闭环控制，实现转台 的精确定位，且能够进行数据采集和误差处理。经实验证明：与手动标定方式相 比，该标定系统不仅效率 高而且标定后的时栅转台测量系统分度精度可达 ±1．3”。 关键词：多面棱体；自准直仪 ；时栅位移传感器；转台；自动标定 中图分类号：TP23 文献标识码 ：A 文章编号：1000-9787(2016)04-0100-04 Design ofautomaticcalibration system fortime·grating turntablebasedonpolygons WANGShu-xian ，PENG Dong-lin’，GAOZhong-hua’，ZHANGXu-yun ，ZHOUJin—gang，ZHENGFang—yan’ (1．EngineeringResearchCenterofMechanicalTestingTechnologyandEquipment， M inistryofEducation，ChongqingUniversityofTechnology，Chongqing400054，China； 2．KeyLaboratoryofChongqingCity，ChongqingUniversityofTechnoloyg ，Chongqing400054，China) Abstract：Aiming atthe problem oftime-gr~ing turntable precision reducing induced by sensormounting eccentricorenvironmentalchangesandSOon，presentautomaticcalibrationsystem fortime—gratingturntablewhich calibrateserrorbypolygonsandautocollinatoranduseharmonicwavecorrectingtechnologyofrerrorcorrection． Polygonsandautocollinatorhigh-precisionmeasuringinstrumentsareappliedtothesystem asmeasuringstandard， ARM processorisusedascoretocarryoutdosed-loopcontrolonsteppermotorandachieveprecisepositioning， andthesystem cancarryoutdataacquisitionanderrorprocessing．Experimental resultshowsthatcomparedwith manualmode，thecalibrationsystem isnotonlyhighefficient，butalsoindexingprecisioncanreach ±1．3