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一种结构解耦的新型应变式三维力传感器研究

第27卷 第2期 传 感 技 术 学 报 Vo1.27 No.2 2014年2月 CHINESEJOURNALOFSENSORSANDACTUATORS Feb.2014 StudyonaNewTypeofAdoptedStructureforThreeDimensionsStrainGaugeForceSensor ZHANGHaixia,CUIJianwei,CHENDanfeng,CHENYangyang (SchoolofInstrumentScienceandEngineering,SoutheastUniversity,Na ng210096,China) Abstract:Thecouplingerrorofdirectionshasbeentheimportantfactorofrestrictingtheimprovingoftheaccuracy ofmulti·dimensionalforcesensor.Decouplingstructurehasbeenalsoagoalofmulti—axisforcesensor.Thispaper presentsanew typeofthree—dimensionalforcesensor.Itcanbeusedformeasuringthree—dimensionalforcesF ,Fz andM ,sensitiveprinciple isstructuredecoupling,therefore expected tohavehigheraccuracy.First,thispaper discussesthe three—dimensionalforce sensorsturctureand the sensitive principle.Secondly,the finite element method ofrthree—dimensionalstrain gauge force sensorstructure isadopted in static analysis.Using the path mappingtechnologyprovidedbytheprocessor,thestraingageplacementareaisaccuratelyobtained.Thesimulation resultsshow that,comparedwiththecrossbeam sturctureoftraditionalmulti-dimensionalforcesensor,thecoupling errorofdirectionshasimproved significantly,dimensionalinterferencedecreasesfrom thetraditionalstructureof 3.56% to0.4% . Keywords:three—dimensionalforcesensor;adoptedsturcture;finiteelementmethod;mappingresultsontoapath EEACC doi:10.3969/j.issn.1004—1699.2014.02.003 一 种结构解耦的新型应变式三维力传感器研究 张海霞,崔建伟 ,陈丹凤 ,陈杨洋 (东南大学仪器科学与工程学院,南京 210096) 摘 要 :维问耦合一直是制约多维力传感器精度提高的重要因素,结构解耦也一直是多维力传感器追求的 目标。提}}J了一 种新型j维力传感器,可用于F 、F、 3个维度广义力的测量,其敏感原理是结构解耦的,因此可具有更高的精度。介绍了 这种新型三维力传感器的结构并分析其敏感原理。采用有限单元法对应变式三维力传感器进行结构静力仿真 ,利用 ANSYS 后处理器提供的路径映射技术,精确地获得了应变片的贴片区域。仿真结果表明,该新型传感器与 目前的应变式多维力传感 器相比,维间耦合误差有明显改善,维问干扰由传统结构的3.56%降低至0.40%。 关键词 :三维力传感器;结构解耦;有限单元法;路径映射 中图分类号 :TP2l2.12 文献标识码 :A 文章编

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