一种新型的电离式MEMS气体传感器.pdfVIP

第26卷 第4期 传 感 技 术 学 报 V01．26 No．4 2013年 4月 CHINESEJOURNALOFSENSORSANDACTUATORS Apr．2013 A NovelIonizationM EM SGasSensor ZHAN Changhua ， Ⅳ Yuanzhi，ZHAOXiaolin ，HOU Zhongyu (1．NationalKeyLaboratoryofMicro／NanoFabricationTechnology，ResearchInstituteofMicro／Nano ScienceandTechnology， ShanghaiJiaoTongUniversity，Shanghai200240，China；2．CentralAcademe，ShanghaiElectricGroupCo．，Ltd．，Shanghai200070，China) Abstract：A novelionizationgassensor，linearresistivityionizationMEMSgassenor，ispresented．ThisMEMSgas sensordiffersfrom thetraditionalionization gassensor，and doesnotusethebreakdowncurrenttofingerprintgas components，buttheconductivityofdifferentgases．Thiscaneffectivelyavoidtodamagetheelectrodestructuresdue tothehighappliedvoltage．Thisgassensorhasgoodrepeatabilityandstability．Inthelow—voltagecondition，thisgas sensorpresenteddifferentvolt—amperecharacteristiccurvesandconductivitiesofdifferentgascomponents，SOthegas sensingcharacteristicofthisdevicewasproved．Thelinearcharacteristicofthisgassensorisalsopresented． Keywords：MEMS；one-dimensionalnanoelectrodearray；ionizationgassensor；gasconductivity EEACC：11815；11820 doi：10．3969／j．issn．1004—1699．2013．04．006 一 种新型的电离式 MEMS气体传感器木 詹 昌华 ，潘元志 ，赵小林 ，侯中宇2 (1．上海交通大学微纳科学技术研究院，微 ／纳加_T技术国家级重点实验室，上海200240； 2．上海 电气集团股份有限公司中央研究院，上海 200070) 摘 要 ：实现了一种新型的电离式MEMS气体传感器，即线性阻抗电离式MEMS气体传感器。该传感器创新地采用了电导 率而不是常用的击穿电压来检测不同的气体成分，这样可以避免高电压对器件的影响，提高器件工作状态的可重复性和稳定 性。该器件在低压条件下不同气体组分中进行气体放电实验 ，测出了不同的伏安特性曲线和电导率值，从而证实了该器件的 气体传感特性。 关键词：微机电系统；一维纳电极阵；电离式气体传感器；气体电导率 中图分类号：TP212 文献标识码 ：A 文章编号 ：1004—1699(2013)04—0467—04 纳米材料具有大的比表面积、高的表面活性以及 感器，即线性阻抗电离式气体传感器。该传感器与 与气体相互作用强，对周围环境十分敏感，因此，它可 传统的电离式 MEMS气体传感器最大的不同在于 以用来制作各种传感器，如温度、气体、光、湿度等传 其检测不同气体的方法不是基于气体放 电的击穿电 感器…。电离式 MEMS气体传感器，作为气体传感