非球面玻璃模造用碳化钨模仁磁控溅射铼–铱镀膜工艺优化.pdf

【真空镀】 非球面玻璃模造用碳化钨模仁磁控溅射铼–铱镀膜工艺优化 杜琪健 （富士康科技集团，广东深圳 518109 ） 摘要：通过钽过渡镀层与铼–铱复合镀层相结合的膜层结构，解 镜片更容易修正影像畸变、色差、慧差等光学像差， 决了非球面玻璃模造碳化钨模仁热压寿命短、沾黏等问题。通 不仅可有效提高光学系统的成像品质，而且让镜头的 过离子源和镀膜层厚度参数的优化调整，得到了最佳镀膜工艺 镜片数目大幅降低[2] 。另外，与塑胶非球面镜片相比， 和参数，改善了模仁的表面品质，延长了模仁的使用寿命。镀 钽膜层 15 min 及铼–铱膜层 21 min 后所得镀膜的总厚度约为 玻璃非球面镜片具有较高的折射率，低吸收率，宽的 270 nm ，模仁热压寿命可超过3 000 次。 光穿透频谱范围，高抗变形性，高抗湿性，高硬度以 关键词：非球面玻璃；模造；模仁；碳化钨；钽；铼–铱镀层； 及较佳的表面抗刮等特性。因此，近年来非球面玻璃 磁控溅射 镜片市场才不断成长。 中图分类号：TG174.444 文献标志码：A 虽然利用热压模造非球面玻璃镜片具有产值高、 文章编号：1004 – 227X (2012) 01 – 0034 – 05 Optimization of magnetron sputtering of rhenium– 降低成本与容易制作小尺寸镜片等优点，但在技术方 iridium coating on mold core (tungsten carbide) used 面仍有许多问题无法改善和解决。传统的玻璃模造中， for aspheric glass molding // DU Qi-jian 玻璃表面的化学反应、应力作用以及反复的热处理是 Abstract: The problems of short service life and sticking of 影响模仁寿命的主要因素。玻璃沾黏于模仁表面，模 tungsten carbide (WC) mold core used for aspheric glass molding were solved by combination of tantalum mediate 仁的氧化与磨损，都大大缩短了模仁的使用寿命。而 coating and rhenium–iridium composite coating. The 模仁与玻璃硝材在高温时会产生相当激烈的化学反 parameters of ion source and coating thickness were 应、离子交换反应、热反应，使得两者相互扩散，或 optimized and the optimal plating conditions were obtained. 是在界面生成新的化合物[3] 。因此，对模仁表面的处理 The surface quality of mold core was improved and its 十分关键。通过镀膜能有效解决或减缓表面反应，减 service life greatly extended. The molding core with a coating having a total thickness of ca.270 nm obtained by 轻热压过程中的机械伤害，增加对玻璃的脱模性[4]，而 successively plating Ta for 15 min and Re–Ir for 21