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新型微纳结构硅宽谱高效吸收效率的量化分析
学兔兔
第 卷 第 期 光 学 仪 器
年 月
文章编号
新型微纳结构硅宽谱高效吸收效率的
量化分析
彭 滟 陈向前 朱亦鸣
上海理工大学光电信息与计算机工程学院上海
上海理工大学上海市现代光学系统重点实验室上海
上海理工大学教育部光学仪器与系统工程研究中心上海
摘要飞秒激光制备的微纳结构硅材料由于其在可见光和近红外波段都有很高的吸收而在硅基
光电光电探测器以及超疏水设备等方面都具有重要应用然而其高宽谱高效吸收特性的机
理从没有被准确量化这在很大程度上限制了这类材料的进一步发展与应用通过实验量化
了飞秒激光制备的微纳结构硅的不同吸收影响因素包括硅衬底的掺杂以及在激光制备过程中
使用掺杂剂在材料中引入的杂质激光制备过程中形成的增强光吸收的无序的表面微纳结构等
因素通过这些分析确定了硅衬底的掺杂比激光制备过程中引入的硫杂质的掺杂对于红外波
段的吸收有更大的贡献此外该种以硅衬底的掺杂为主要红外吸收介质的材料具有耐退火性
这些结果对设计和制造高效率的光电器件有着重要影响
关键词微纳结构吸收效率硅
中图分类号 文献标志码
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