预对准机与机械手相对坐标系标定.pdfVIP

第7期 机械设计与制造 2013年 7月 Machinery Design Manufacture 185 预对准机与机械手相对坐标系标定 李学威，冯亚磊，张 鹏，栾显晔，张金果 (沈阳新松机器人 自动化股份有限公司，辽宁 沈阳 110168) 摘 要：在对预对准机建模仿真的基础上 ，根据晶圆预对准的误差精度分析结果，利用误差转化的方法将预对准机 自 身误差转化成预对准机与机械手相对坐标系误差，从而实现预对准机 自身与相对坐标系的综合标定。针对预对准机与 机械手相对坐标系的标定提 出了多种方法，并选取了适用于实际情况的方法进行 了标定实验，验证了方法的有效性。 这种综合标定方法弥补 了现有实验条件的不足，避免了对不易标定参数的直接标定，简化 了标定过程，提高了设备初 始安装与调试的效率。 关键词：晶圆预对准机；晶圆传输机器人；建模仿真；标定方法；相对坐标系；误差补偿 中图分类号：TH16 文献标识码 ：A 文章编号：1001—3997(2013)07—0185—03 RelativeCoordinateSystem CalibrationofW aferPre-Aligner andWaferTransferRobot LIXue—wei，FENGYa-lei，ZHANGPeng，LUANXian—ye，ZHANGJin-guo (SiasunRobotAutomationCo．，LiaoningShenyang 110168，China) Abstract：Accordingtotheerroranalysisresult，ittransferstheerrorofpre-alignerintotheerrorofthecoordinate relationshipbetweenpre—alignerandtherobotusingerrortransformationmethod．Withthemethod，itachievescalibrationof botherrorsinoneprocesssimultaneousty．Then，dffierentcalibrationmethodsoredesigned． ，itcarriesoutexperiment toprovethevalidityoftheselectedcalibrationmethods．Thsicalibrationmethodovercomesexperimentdfificulties，a~oids directlycalibratingtheparameters．simplfiiescalibrationprogressGndimprovestheefficiencyofdeviceinstallingandtesting． Key W ords：W aferPre-Aligner；W aferTransferRobot；ModelingandSimulation；CalibrationMethod；Relative CoordinateSystem ；ErrorCompensation 1引言 得晶圆的偏心及缺 口位 。理论上，晶圆的转动中心应当处在 CCD线阵所在直线上，但实际上 ，由于制造及装配存在误差，晶 在实际应用中，由于制造、装配及驱动装置等存在误差，难 圆实际的转动中心会相对理论转动中心产生一定的偏置，这里 0 以保证晶圆转动中心处与CCD线阵的相对位置，即晶圆实际转 为晶圆理论转动中心，0为晶圆实际转动中心。这个偏置会给晶 动中心与理论转动中心并不重合