微小非球面纳米抛光工艺研究.pdfVIP

第 12期 组 合机 床 与 自动化 加工 技术 No．12 2014年 12月 M odularMachineTool＆ AutomaticM anufacturingTechnique Dec．2014 文章编号：1001—2265(2014)12-0131—04 DOI：10．13462／j．cnki．mmtamt．2014．12．035 微d,tl~球面纳米抛光工艺研究术 段红杰，李一浩 (郑州轻工业学院机 电工程学院，郑州 450002) 摘要：针对微小非球面斜轴镜面磨削时存在的表面／亚表面缺陷、表面粗糙度均匀性差以及传统抛光 工艺难以抛光微小非球面等一系列难题，开发一种利用磁性复合流体和斜轴抛光方式进行微小凹非 球面超精密抛光的新工艺。以口径在 10mm 以下的超精密微细透镜及微细模具中的各种微小球面、 微小凹非球面为主要加工对象，展开磁性复合流体抛光工艺研究。分析磁性复合流体工艺参数对加 工质量和表面去除率的影响，优化工艺参数，解决了微小非球面纳米抛光的关键技术问题。 关键词：磁性复合流体 ；纳米微细抛光；微小非球面 中图分类号：TH162；TG506 文献标识码 ：A Proce~ingStudyonNano-PolishingofM icroAsphericSurface DUANHong-jie，LIYi-hao (CollegeofMechanicalandElectricalEngineering，ZhengzhouUniversityofLightIndustry，Zhengzhou 450002，China) Abstract：Aimingattheproblemsofsurface／subsurfacedefects，poorroughnessuniformityanddifficult-to— polishingofmicroasphericsurfaceusinginclined—axismirrorgrindingandconventionalpolishingprocess，a new processintegratedwiht magneticcompoundfluidandinclined-·xaispolishingisproposedforultra--preci· sionpolishingofmi croasphericsurface．A studywhichtakesmicrosphericalandasphericsurfaceofmi cro lensnadmoldwihtlesshtan10mm indiameterforobjects，willbeunfoldedofrmagneticcompoundfluid． Itwasinvestigatedhtathteinfluenceofhteprocessparametersonmachiningqualityandhtesurfaceremoval rateofmagneticcompoundfluidandtheparameterswasoptimized．Itsolveshtekeytechnicalproblemsfor nano—polishingofmicroasphericsurface． Keywords：magneticcompoundfluid；nnao—polishing；mi croasphericsurface 一 型磁流变体易于沉淀，流体寿命短(20天以内)，使 O 引言 用成本高 ，难以推广应用 。 在高精度激光光学系统、短波光源光学系统中，高 针对微小非球面超精密抛光的加工难题，本文提 质量的小 口径非球面镜被广泛地运用。作为超高精度 出超精密磁性复合流体斜轴抛光加工工艺，整合磁流 的光学非球面既要有纳米级或