基于微细电火花加工机床的微孔冲裁加工装置.pdfVIP

《电加工与模具)2013年第6期 设计 ·研 究 基于微细电火花加工机床的微孔冲裁加工装置 王玉魁 ，何小龙 ，张开祯 ，王振龙 。 (1．哈尔滨工业大学微系统与微结构教育部重点实验室，黑龙江哈尔滨 150001； 2．哈尔滨工业大学机电工程学院，黑龙江哈尔滨 150001) 摘要：为实现微孔冲裁高效、高质量加工，避免微冲头、冲模孔离线加工而引起 的二次装夹问 题 。在实验室 自行研制的微细电火花加工机床上进行微冲裁加工装置的设计。利用该装置进行微 冲头、冲模孔的在线制备和冲裁加工试验 ，成功制备出了直径 100Ixm的微冲头与直径 l10 m的 冲模孔。并在厚度20 m的黄铜箔上冲裁 出直径 105 m的微孔 ，验证了该装置的可行性 。 关键词：微孔 ；微细电火花加工 ；微冲裁；在线制备 中图分类号：TG661 文献标识码：A 文章编号 ：1009—279X(2013)06—0024—04 Micro-holePunchingDeviceBasedonM icro—EDM TooI WangYukui ．HeXiaolongla,ZhangKaizhen2,WangZhenlong卫 (1．Keylaboratoryofmicro-systemsandmicro-structuresmanufacturing,HarbinInstituteof Technology，MinistryofEducation，Harbin150001，China； 2．HarbinInstituteofTechnoloyg，Harbin150001，China) Abstract：Amicro-holepunchingdevicebasedontheself-developedmicro-EDM toolisdesigned inthispaper．Thepurposeistorealizemicro-punchingwithhighefficiencyandquality，andavoidthe secondaryclampingerrorofmicro-punchandpunchingdieholecausedbyoffiineprocessing．Micro- punchandpunchingdieholeonlinepreparingexperimentsandpunchingofmicro-holearecarriedout onthedesignedmicro-holepunchingdevice．A micro-punchandpunchingdieholewithadiameterof 100Ixm and1l0 m arefabricatedsuccessfully．A micro-holewithadiameterof105 m ispunched inthebrasssheetfor20bm inthickness．Th efeasibilityofthemicro-holepunchingdeviceisverified． Keywords：micro-hole；micro-EDM ；micropunching；onlinepreparation 随着微电子机械系统 (MicroElectronMechani． 学、注射成形及微细电火花加工3-【51等。微细电火花 calSystem，MEMS)的迅速发展与逐步进入实用化 加工是一种利用工件与工具 电极间的脉冲电源对 阶段 ，微型零件的应用 13益广泛 l-【2]。特别是微孔类 材料进行放 电腐蚀的加工方法6[-71。该方法具有加工 零件 ，以其结构简单、制作方便等优点。在柴油发动 过程 中宏观力小，能实现高硬度导电材料的高效加 机 、喷墨打印机 、纺织工业与医疗机械等领域取得 工等优点，故可实现微细轴与微孔的加工；但受限