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AI-Al2O3模板阴极法微细电解加工初探

《电加工与模具》2013年增刊1 设计 ·研 究 AI-AlsO3模板阴极法微细电解加工初探 陆 日钦,汪 炜,徐省三,张 伟 (南京航空航天大学机电学院,江苏南京 210016) 摘要 :分析 了AI—AIO 模板 阴极法微细 电解加工材料去除机理,开展 了相关试验验证工作。 选择陶瓷层厚度为70、150、200 m的铝板作为 阴极 ,工件材料分别为不锈钢和纯钛,进行 电解加 工试验。结果表 明:陶瓷层越厚 ,侧向腐蚀越小,成形精度越高,但相对加工效率有所降低。采用孔 径 500tim 的 一 ()3模板,成功制备 出平均孔径 554.7 m和 575.8 的不锈钢工件及纯钛工件。 关键词:微弧氧化 ;陶瓷层 ;有 限元分析 ;电解加工 中图分类号:TG662 文献标识码:A 文章编号:1009—279X(2013)S1—0044—03 ExperimentalResearchonM icro—ECM byUsingAI—Al203M askCathodeMethod LuRiqin,W angW ei,XuXingsan,ZhangW ei (NanjingUniversityofAeronautics Astronautics,Nanjing210016,China) Abstract:Thematerialremovalmechanism ofmicro—ECM byusingAI—A1203maskcathodeisana— lyzed,andtherelativeexperimentalworkhasbeenfulfilled.TheA1AI203maskswithdifferentthick— nessofinsulationlayer(70z/m,150gm and200 m respectively)havebeenselectedascathodefor electrochemicalmachiningofstainlessstee1andtitanium foil.ItiSdemonstratedthatwith thethicker insulationlayer,theundercutissmaller,andtheformingaccuracyofECMedholesisbetteraswelI, however.theefficiencyisrelativelylower.W iththesamemaskof500 /zm indiameter.thearrayof microholeshavebeesuccessfullyfabricated,forSUS304stainlesssteel,theaveragediameteris554.7 gm,andfortitanium ,theaveragediameteris575.8 m. Keywords:micro—arcoxidation;ceramicinsulationlayer;finiteelementanalysis;ECM 随着航空航天、汽车等行业的发展 ,对在零件上 较高。 加工各种微孔提出了更高的要求。微孔的加工方法 本文提 出了A1一AlO 模板 阴极法微细电解加 主要有精密机械加工 、光化学蚀刻、激光加工、电火 工方法 ,即通过微弧氧化在有群孔的铝片表面原位 花加工及照相 电解加工u 。机械加工会 留下毛 生长 出一层 陶瓷层 。J,以此单面绝缘 的铝模板作 刺 ,易引起变形 ,尤其是金属薄板工件 ,同时受到工 为阴极进行电解加工,转移 图形。该方法 的电解原 件材料硬度等性质的影响。光化学蚀刻需要用到有 理与照相电解类似 ,但既保留了其优点,同时绝缘层 强烈腐蚀作用的腐蚀剂,如蚀刻钛需用到氢氟酸,造 也可循环使用,降低 了成本 。针对这种 电解方法 ,研 成环境污染,处

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