2铁氧体磁性材料概述-成都信息工程大学论文管理系统.doc

分类号：TM27U D C：D10621-408-(2013)1055-0 密 级：公 开编 号：200 Ti取代NiZnCo铁氧体薄膜性能研究 NiZnCo铁氧体薄膜性能研究 摘 要 本文利用溶胶凝胶法制备了NiZnCo铁氧体合成Ni0.4Zn0.5TixCo0.1Fe2-xO4（0≤x≤0.12）铁氧体薄膜。研究了Ni0.Zn0.5TixCo0.1Fe2-xO4 铁氧体薄膜的结构特性和磁学性能。实验结果表明：Ti取代量的增加，薄膜晶格常数也增加。钛代替NiZnCo铁氧体薄膜的平均晶粒尺寸随Ti取代量的增加而增加。当x≤0.06时，饱和磁化强度逐渐增加。而在x0.06，则相反。与此同时,当x≤0.03时，矫顽力增加,而在x0.03时，则相反。 关键词：NiZnCo铁氧体薄膜；溶胶-凝胶法；结构；磁学性能 The Properties of NiZnCo Ferrite Thin Films Abstract Ti-substituted NiZnCo ferrite thin films, Ni0.4Zn0.5TixCo0.1Fe2-xO4(0≤x≤0.12), were synthesized by sol-gel process. The structure and magnetic properties of Ni0.4Zn0.5TixCo0.1Fe2-xO4 ferrite thin films have been investigated. There is a little increase of lattice parameter with Ti substitution. The average grain size of Ti-substituted NiZnCo ferrtie thin films increased with Ti substitution. The saturation magnetization gradually increased with the increase of Ti substitution when x≤0.06, and decreased when x0.06. Meanwhile, the coercivity initially increased with the increase of Ti substitution when x≤0.03, and decreased when x0.03. Key words: NiZnCo ferrite thin films; Sol-gel process; Ti substitution; Structure; Static magnetic properties 目 录 论文总页数：页 1 引言 1 1.1 溶胶凝胶法 1 1.2 本课题研究意义与目的 2 2 铁氧体磁性材料概述 2 2.1 磁性材料的特性和应用 2 2.1.1 金属磁性材料 2 2.1.2 非金属磁性材料 3 2.1.3 铁氧体及其特性 4 2.1.4 铁氧体的分类 4 2.2 铁氧体的主要磁性参数 5 2.2.1 磁化强度 5 2.2.2 矫顽力 5 2.2.3 磁滞回线 6 3 薄膜性能测试方法及表征 6 3.1 薄膜厚度的测量 7 3.2 薄膜形貌的表征 7 3.3 薄膜晶体结构分析 9 3.4 薄膜磁性能的测量 10 4 溶胶-凝胶法原理及Ti取代NiZnCo氧体薄膜制备工艺 10 4.1 溶胶-凝胶法的基本原理及特点 10 4.1.1 溶胶-凝胶法的基本反应步骤 10 4.1.2 溶胶-凝胶法的特点 11 4.2 实验设备及仪器 11 4.2.1 实验设备及器材 11 4.2.2 实验原料 12 4.2.3 实验测量所需主要设备 12 4.3 溶胶的配制 12 4.4 基片的清洗 13 4.5 成膜 13 4.6 薄膜的退火 14 5 实验结果及分析 14 5.1 XRD表征 14 5.2 显微结构 14 5.3 静磁特性 15 结 论 17 参考文献 17 致 谢 18 声 明 19 1 引言 随着21世纪磁性电磁干扰产品和电磁兼容产品向各类磁芯向高磁导率、高频化、高速、小型化和片式高组装密度化发展，用NiZnCo等软磁材料作成的铁氧体浆料和导体浆料交替叠层厚膜印刷和烧结而成小型化表面安装的器件已经实用化。块状铁氧体材料由于存在Snoke极限，在高频下磁导率急剧下降，因此这些材料一般只适用于低频段金属复合板材虽可用于高频段，但由于厚度太大，不适合微型器件和大规模集成电路系统应用。与块状材料不同，薄膜材料由于厚