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半导体存储器测试数据图形研究 朱琪峰 （上海交通大学微电子学院，上海 200240） 摘要：半导体存储器作为现在数字系统的重要组成部分，在生产过程中需要进行严格的测试， 其中功能测试是整个测试环节中最主要的一部分，因此测试图形的选择也对测试结果有着重 要的影响。不同的数据图形由不同的数据类型和地址变换方式组合而成，本科详细介绍了各 种数据类型以及地址变换方式，以及各自优越点，通过适当的选用测试数据图形来实现测试 时间，测试覆盖率和良率的平衡。 关键词： 半导体存储器；测试；数据图形 中图分类号：O472+.4 Data Pattern for Memory Testing ZHU Qifeng (Shanghai Jiaotong University School of Microelectronic，Shanghai 200240) Abstract: As the most importmant part of current digital system, the Memory IC need be tested very carefully in production, and the functional test is one the most importmant tests. So the data pattern of the function test for Memory IC testing will much impact the test result. The data pattern consist by different data type and address pattern, in this paper, it introduced the different data type, address pattern and their merites and faults.By using right data pattern for testing, it can balance the test time, test coverage and yield. Key words: Memory; Testing; Data Pattern 0 引言 在现代数字系统中[1]，半导体存储器起着不可替代的作用，为了保证存储器的质量和可 靠性， 都必须经过严格的测试，特别是功能性测试。半导体存储器的功能测试[2]都是通过 写入和读取数据来实现的。因此，数据类型的选择和读写地址的变换成为测试至关重要的一 部分。由于同步突发读写模式[3]需要地址的连续性，测试数据图形的讨论主要集中在异步读 写模式[3]。 不同的读写地址变换方式用来测试芯片对于地址的解析[4]，不同的数据形式用来检测芯 片的数据流以及数据存储的能力[4]。由于行地址和列地址的选通以及数据通路的控制都是由 存储芯片中的逻辑电路来完成的，而不同供应商所采用的逻辑电路的设计大不相同，即使是 同一厂家，采用不同工艺的产品也有可能采用不同的逻辑电路。因此，我们需要各种不同的 数据图形来测试不同的产品[5]。 在一个新产品的引入阶段，我们会用所有的测试数据图形来检测芯片，记录下该产品敏 感的测试数据图形。在生产阶段就有选择地使用几种测试数据图形来进行测试，这样不但能 提高测试的效率，也能有效地对芯片进行测试。 1 数据类型 最常采用的数据类型一共有4种：Solid，Check Board，Column Bar和Row Stripe。Solid 作者简介：朱琪峰. E-mail:  HYPERLINK mailto:arlalai@163.com arlalai@163.com  是指整个存储阵列的所有地址都写入相同的数据；Check Board是指相邻的地址（行地址和 列地址）上的数据相反；Column Bar是指相邻列地址上的数据相反，相邻行地址上的数据相 同；Row Stripe是指相邻行地址上的数据相反，相邻列地址上的数据项同。如图1所示为各个 数据类型。 Y0 Y-Add Ymax Y0 Y-Add Ymax X0 D D ------------- D D X0 D D ------------- D D X-Add D D ------------- D D X-Add D /D ------------- D /D /D D ------------- /D D D /D ------------- D /D /D D ------------- /D D Xmax D D ------------- D D Xmax Solid Check Board Y0 Y-Ad