石墨框自动装卸系统.PDFVIP

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2017-04-28 发布于天津
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石墨框自动装卸系统.PDF

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The Automation Company 产能 6500片/小时正常运行比率＞99% 碎片率＜0.03% 石墨框自动装卸系统 Jonas Redmann在线式板式自动化上下料系统采用模块化设计，在线式生产使得硅片的传输受水平花篮或托盘的影响。模块化的设计使该设备能满足各个生产过程中的特殊要求，例如原子层沉积、ALD、超薄钝化层（Al2O3）的沉积、离子注入或化学汽相沉积、PECVD和非晶或微晶硅层的沉积等。除了广泛的选择外，一系列创新使该设备达到了杰出的硅片定位精度、最低的碎片率和保护硅片的温和处理技术。达到卓越的高产能输出模块化的设计便于安装、运行和整合到现有的生产线中设备平台可大范围兼容基于流水线式的工艺设备，例如：PECVD, CVD 和 PVD 较小的占地空间托盘采用逐列步进定位方式实现业界最高定位精度硅片采用光学模式实现单独位置校正 The Automation Company 适用于管批自动化装卸平台的工艺设备该系统有多种技术配置，全面兼顾不同工艺及产能需求，更可满足多种自动化等级需求。标准配置可选配置实现花篮自动化装卸和传送硅片花篮硅片输入/输出 (例如Jonas Redmann 自动化花篮) 与加工设备在线连接颜色与层厚度测量+不合格品处理＜4 拒收盒空料盒监控工艺控制/检测输入端破片检测 ??墨框热膨胀监测输出端破片检测 6x4 - 5x4, 6x7, 6x9 石墨框规格可根据客户需求配置其他规格碳, 石墨, 不锈钢可根据客户需求配置其他操作语言软件标准 HMI, 操作语言英语 MES连接，如：Secs GEM, XML